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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ》2004年
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退火温度对射频磁控溅射法生长的Mg_(0.16)Zn_(0.84)O薄膜性质的影响

张锡健  马洪磊  王卿璞  马瑾  宗福建  肖洪地  计峰  
【摘要】:采用射频磁控溅射的方法在硅衬底上生长出高质量的Mg0.16Zn0.84薄膜。用X射线(XRD)、原子力显微镜(AFM)分别研究了在200、400、600和800℃下空气中退火2h的Mg0.16Zn0.84O薄膜的结构、表面形貌。结果表明,Mg0.16Zn0.84O薄膜是六角纤锌矿结构,具有沿与衬底垂直的C轴的择优取向;随着样品退火温度的升高,(002)衍射峰强度明显增强,衍射峰半高宽(FWHM)由0.86°单调地降低到0.40°,晶粒大小明显增大,最大的高达400nm以上。用TV1900型双光束紫外可见分光光度计测量了淀积在蓝宝石村底上的Mg0.16Zn0.84O薄膜室温的透射谱,得到可见光区的平均透过率约为95%,进而估算出Mg0.16Zn0.84O薄膜的带隙宽度约为3.58eV.

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【同被引文献】
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1 傅竹西,林碧霞,祝杰,贾云波,刘丽萍,彭小滔;MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性[J];发光学报;2001年02期
2 魏志鹏;吴春霞;吕有明;张振中;姚斌;张吉英;赵东旭;李炳辉;申德振;范希武;;MgxZn_(1-x)O合金制备及MgZnO/ZnO异质结构的光学性质[J];发光学报;2006年05期
3 徐彭寿 ,孙玉明 ,施朝淑 ,徐法强 ,潘海斌;Electronic structure of ZnO and its defects[J];Science in China,Ser.A;2001年09期
4 王秀琴;袁宁一;范利宁;李金华;;Mg~(2+)掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响[J];江苏工业学院学报;2007年03期
5 缪世群;ZnO薄膜的光谱及能级[J];南通工学院学报(自然科学版);2003年04期
6 吴春霞,吕有明,李炳辉,赵东旭,刘益春,申德振,张吉英,范希武;MgZnO/ZnO异质结构的发光性质研究[J];人工晶体学报;2003年06期
7 于元勋;魏显起;满宝元;;生长温度对Si衬底ZnO薄膜结构的影响[J];山东教育学院学报;2006年06期
8 张德恒,王卿璞,薛忠营;不同衬底上的ZnO薄膜紫外光致发光[J];物理学报;2003年06期
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【二级引证文献】
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