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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ》2004年
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氧化物透明导电膜的研究进展

李红霞  刘宏  王继扬  李霞  崔红梅  
【摘要】:介绍了透明导电薄膜主要的种类及发展过程,对氧化物透明导电薄膜的不同的制备工艺作了比较,并概括了氧化物透明导电薄膜的应用领域;在对氧化物透明导电薄膜的最新研究进展进行综合评述的同时,提出了透明导电薄膜的研究方向和目前亟待解决的问题.

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张文杰;射频磁控溅射大尺寸ZnO:Al薄膜生长工艺及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
2 赵谢群;透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展[J];电子元件与材料;2000年01期
3 姜燮昌,胡勇;ITO膜透明导电玻璃的应用前景及工业化生产[J];真空;1995年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 于忠玺;高善民;张江;陈健;曲荣君;;溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电性能研究[J];微纳电子技术;2007年05期
2 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制[J];半导体学报;2000年04期
3 徐美君;ITO透明导电膜玻璃生产及应用[J];玻璃与搪瓷;2001年02期
4 李宁,卢迪芬,陈森凤;溶胶-凝胶法制备薄膜的研究进展[J];玻璃与搪瓷;2004年06期
5 王敏,蒙继龙,陈明光;ITO薄膜的光学性能研究[J];中国表面工程;2003年05期
6 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
7 周宏明;易丹青;杨小玲;;ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J];表面技术;2006年01期
8 郭爱波;刘玉萍;陈枫;李斌;但敏;刘明海;胡希伟;;等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究[J];表面技术;2006年06期
9 王华;;特色功能材料——透明导电氧化物薄膜[J];材料导报;2005年11期
10 望咏林;颜悦;沈玫;贺会权;张官理;;透明导电氧化物薄膜研究进展[J];材料导报;2006年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 林元华;周西松;王建飞;陈宇;蒋磊;南策文;;溶胶-凝胶法合成Li掺杂NiO纳米粉体[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
2 董培明;张铭;兰伟;董国波;严辉;;p型透明导电氧化物LaCuOS的研究进展[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
3 肖华;王华;任鸣放;陈国华;;磁控溅射ZAO透明导电薄膜靶材及薄膜制备技术[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
4 张英;徐雪青;徐刚;;配位剂种类对ITO薄膜显微结构和光学性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 丁娟;CuA1O_2与ZnO纳米结构制备及其光电化学性质研究[D];吉林大学;2011年
2 李栋;太赫兹(THz)波的产生和相干控制研究[D];上海大学;2011年
3 王杨勇;聚苯胺纳米纤维的合成与应用[D];西安交通大学;2007年
4 邹科;ZnO纳米材料的铝、稀土元素掺杂及其光学和电学性能研究[D];山东大学;2011年
5 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
6 徐甲强;氧化物纳米材料的合成、结构与气敏特性研究[D];上海大学;2005年
7 李喜峰;新型透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2006年
8 杜娟;P型透明导电氧化物薄膜的研究[D];浙江大学;2006年
9 吕茂水;溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜与薄膜特性研究[D];山东大学;2007年
10 姜银珠;气溶胶化学气相淀积及其制备陶瓷膜燃料电池功能层研究[D];中国科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 况琦;制备环境温度及紫外线灯照射改善ITO薄膜性能的研究[D];浙江理工大学;2010年
2 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
3 方敏;p型CuAlO_2薄膜的制备与性能表征[D];浙江大学;2011年
4 徐海军;二步法制备绒面结构ZAO薄膜及其在非晶硅薄膜太阳电池前电极应用研究[D];景德镇陶瓷学院;2011年
5 朱玉成;新型铱配合物的合成和电致发光性能研究[D];南京大学;2011年
6 张国宏;NiO_x/a-Si/ZnO太阳能电池研究[D];电子科技大学;2011年
7 安子凤;氮化钛薄膜的制备与光电性能研究[D];郑州大学;2011年
8 张雪;MOCVD法制备锌锡氧薄膜及其特性研究[D];山东大学;2011年
9 赵海娇;直流磁控溅射制备ITO薄膜及增透效果的研究[D];长春理工大学;2011年
10 周荣富;ZnO/metal/ZnO结构透明导电薄膜的研究[D];杭州电子科技大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋登元,王永青,孙荣霞,宗晓萍,郭宝增;Ar气压对射频磁控溅射铝掺杂ZnO薄膜特性的影响[J];半导体学报;2002年10期
2 黄宇;熊强;薛俊明;马铁华;孙建;赵颖;耿新华;;衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响[J];兵工学报;2006年05期
3 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
4 徐慢;夏冬林;赵修建;;透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展[J];材料导报;2006年S2期
5 黄佳木,董建华,张兴元;工艺参数对RF磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜特性的影响[J];材料科学与工程学报;2003年02期
6 杨田林,韩圣浩,张鹏,王爱芳;衬底温度和溅射偏压对ZnO:Al透明导电膜结构和光电特性的影响[J];电子元件与材料;2004年07期
7 邓建芳;李军建;杨健君;;水蒸气分压强对ITO薄膜均匀性和光电性能的影响[J];光电子技术;2006年03期
8 段苓伟;薛俊明;杨瑞霞;赵颖;耿新华;;氧流量对绒面氧化锌透明导电薄膜性能的影响[J];光电子.激光;2008年09期
9 杨伟锋;刘著光;吕英;黄火林;吴正云;;RF磁控溅射功率对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响[J];光电子.激光;2008年12期
10 徐艺滨;杜国同;刘维峰;杨天鹏;王新胜;;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其特性分析[J];人工晶体学报;2006年03期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
2 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
3 丁星兆,何怡贞,董远达;溶胶-凝胶工艺在材料科学中的应用[J];材料科学与工程;1994年02期
4 赵谢群;透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展[J];电子元件与材料;2000年01期
5 韩雪,夏慧,吴丽君;透明导电膜及靶材[J];电子元件与材料;1998年01期
6 ;液晶显示器最新动向[J];真空;1994年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 毕只初;;“玻璃”电池[J];太阳能;1980年02期
2 胡红丽;谷伟;;透明导电膜在非晶硅太阳电池制造中的应用[J];资源节约与环保;2010年03期
3 张亚萍;李启甲;;掺铝氧化锌(AZO)导电薄膜的研究进展[J];现代显示;2006年03期
4 黄树来;姜永超;盖凌云;徐进栋;王雨生;马瑾;;退火处理对掺锑Zn-Sn-O薄膜的特性的影响[J];功能材料;2006年02期
5 陈涌澄;;离子交换树脂特性及其挖潜工作建议[J];华北电力技术;1985年08期
6 刘杭生;邓秋农;;透明导电膜(TCO)发热元件及其应用[J];电子与自动化;1996年01期
7 李湘海;铜及铜合金带材导电率的涡流测试方法[J];理化检验.物理分册;2005年08期
8 朱建芳;王增辉;;SFT型半硬同轴电缆中内导体的选用[J];光纤与电缆及其应用技术;2009年04期
9 贾淑果;任伟;郭望望;孙永伟;;纯铜接触线材料的组织和性能[J];河南科技大学学报(自然科学版);2009年06期
10 孙海燕;;机组铜导线电阻率(导电率)的测试技术[J];四川工程职业技术学院学报;2010年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 王雅欣;薛俊明;李养贤;周祯华;任慧志;王凯杰;耿新华;;非晶硅太阳能电池ZnO:Al/Al复合背电极增反工艺优化[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3 郭卫;陈静;;薄膜太阳电池用TCO玻璃发展分析[A];电子玻璃技术(2009年第1、2期)——第九届电子玻璃分会换届年会及庆祝电子玻璃分会成立三十周年暨电子玻璃学术研讨会论文集[C];2009年
4 吴叔青;张所波;;磺化聚苯质子传输膜的制备及性能研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
5 王绍荣;郑锐;温琏;;SOFC新型阴极材料La_(0.6)Sr_(0.4)Co_(1-x)Ca_xO_3的研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
6 于建秀;赵雷;周春兰;李海玲;刁宏伟;任丙彦;王文静;;用于HIT太阳电池的ZAO/Ag/ZAO复合透明导电膜优化设计[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
7 王尔镇;王春锋;;绿色照明工程中薄膜材料的开发和应用[A];中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会论文集(上)[C];2001年
8 薛俊明;王雅欣;王凯杰;周祯华;李养贤;吴春亚;耿新华;;用中频脉冲电源溅射ZnO薄膜时脉冲参数对溅射电压的影响[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
9 林晓敏;李莉萍;苏文辉;;纳米固溶体Ce_(1-x)Pr_xO_(2-δ)的合成及电性能研究[A];中国稀土学会第四届学术年会论文集[C];2000年
10 方军;齐冬辉;宋洪峰;沈培康;;新型DMFC阻醇膜的性能研究[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集稀土专辑[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 湖南 戴洪志;纯银线、纯银保险丝及导电皇[N];电子报;2005年
2 武汉 余俊芳;自动浇水控制器[N];电子报;2005年
3 马生泓;通过建设部科技成果评估[N];中华建筑报;2007年
4 武汉 余俊芳;水塔自动上水电路[N];电子报;2009年
5 朱波 梁建 姜独松;一根导线的低碳价值[N];科技日报;2010年
6 武器;新型钢芯铝绞线通过鉴定[N];中国矿业报;2002年
7 李学华;多晶硅太阳能电池转换效率大幅提高[N];科技日报;2008年
8 卢业忠;二硼化镁:电子材料新星[N];中国电子报;2001年
9 河南 张国光;单晶铜在电线电缆中的应用[N];电子报;2009年
10 刘霞;让质子“跑”得更快[N];科技日报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 徐慢;玻璃基太阳能电池薄膜材料制备及其结构和性能研究[D];武汉理工大学;2006年
2 陈晗;新型锂离子电池正极材料LiFePO_4的合成及改性研究[D];湖南大学;2007年
3 马旭辉;三苯基氧膦磺酸质子交换膜的制备与表征[D];上海交通大学;2008年
4 赵洪英;电化学合成同轴电缆结构复合丝及其巨磁阻抗效应的研究[D];天津大学;2005年
5 刘恩辉;锂离子电池正极材料钒氧基化合物的制备及电化学性能研究[D];中南大学;2004年
6 张希;太阳电池透明电极与质子辐照三结太阳电池研究[D];复旦大学;2009年
7 罗培青;HWCVD制备硼掺杂氢化纳米硅及银纳米粒子增强硅薄膜太阳电池光谱响应的研究[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李林娜;ITO透明导电膜的性能研究及其在nip结构硅基薄膜太阳电池上的应用[D];河北工业大学;2007年
2 宋玲彦;透明导电膜ZGO的研究及其在硅基薄膜太阳电池中的应用[D];河北工业大学;2011年
3 何显宗;毫米波带通频率选择表面研究[D];长春理工大学;2008年
4 张文芹;LiFePO_4系列电池材料的量子化学计算[D];武汉理工大学;2006年
5 吴芳;硅薄膜太阳电池电极接触特性的研究[D];郑州大学;2007年
6 刘佳宇;绒面氧化锌薄膜的研究及其在太阳能电池上的应用[D];河北工业大学;2006年
7 曹艳军;两种Li~+离子型固体电解质的制备、表征及其电化学性能测试[D];广西大学;2007年
8 刘晓平;高效HIT非晶硅/单晶硅太阳电池中透明导电膜的研究[D];河北工业大学;2007年
9 徐立群;基于离子液体的电化学电容器及其影响因素的研究[D];上海师范大学;2009年
10 郝志红;透明导电膜与活性层界面特性对PSCs性能影响的研究[D];河北工业大学;2011年
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