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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ》2004年
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功能材料在MEMS中的应用及进展

王灵婕  林吉申  
【摘要】:以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统。本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展。

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【参考文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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【相似文献】
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