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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ》2004年
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Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

王丽  胡小波  董捷  李娟  姜守振  李现祥  徐现刚  王继扬  蒋民华  
【摘要】:利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱。在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此时4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定。同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具。实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R.多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因。

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【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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