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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ》2004年
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金刚石膜中氮杂质状态的研究

金曾孙  吕宪义  杨广亮  吴汉华  李哲奎  刘建设  
【摘要】:用EA-CVD(Electron assisted Chemical VaporDeposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质。实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质。沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 彭明生,杨志军,林冰;金刚石中的成键氢[J];高校地质学报;2000年02期
【共引文献】
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1 陆宇刚;买潇;覃勇;陈美华;;高温高压处理褐色钻石的实验探索[J];宝石和宝石学杂志;2007年01期
2 杨志军,彭明生,苑执中;金刚石中氢的研究及其意义[J];地球科学进展;2002年01期
3 杨志军,彭明生,苑执中;Ⅰa型金刚石中水的显微红外光谱研究[J];光谱学与光谱分析;2002年02期
4 蒙宇飞,彭明生,陈文旋;彩色金刚石中过渡金属离子的谱学研究[J];光谱学与光谱分析;2004年07期
5 彭明生,杨志军,苑执中;氢在金刚石结构中的自陷模型[J];矿物学报;2001年03期
6 杨志军,彭明生,苑执中;天然金刚石的定向红外光谱研究[J];矿物学报;2001年03期
7 苑执中,彭明生,蒙宇飞;高温高压处理钻石的谱学研究[J];矿物学报;2002年04期
8 彭明生,蒙宇飞,杨志军;金刚石呈色机制的新观点[J];矿物学报;2003年03期
9 杨志军,彭明生;金刚石中分子氢的赋存状态研究[J];矿物岩石;2003年03期
10 苑执中,杨志军,彭明生;金刚石的晶格畸变[J];矿物岩石地球化学通报;2002年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李明吉;吕宪义;孙宝茹;金曾孙;;氮气流量对金刚石膜生长的影响研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 杨志军;金刚石中氢的赋存状态研究[D];中国科学院研究生院(广州地球化学研究所);2002年
2 李明吉;大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 武改朝;山东蒙阴褐色金刚石的颜色与晶格缺陷关系研究[D];中国地质大学(北京);2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 郑建平,路风香,郭晖,任迎新;金刚石中流体包裹体的研究[J];科学通报;1994年03期
2 陈丰,丁振华,郭九皋,薛理辉,叶先贤;金刚石中的分子氢[J];科学通报;1994年15期
3 薛理辉,邓尔森,谈逸梅,陈丰,丁振华,郭九皋;天然金刚石中的结构水[J];科学通报;1994年18期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李德贵;苟立;冉均国;;活性成分对金刚石膜沉积速率和质量的影响[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年04期
2 李德贵;冉均国;苟立;;SAW器件用金刚石膜的制备工艺研究[J];电子元件与材料;2011年09期
3 于盛旺;李晓静;张思凯;范朋伟;黑鸿君;唐伟忠;吕反修;;新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜[J];功能材料;2011年09期
4 杜康;徐伟;贺中信;吴智量;彭军;;甲烷浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响[J];光学仪器;2009年04期
5 张楷亮;王莎莎;王芳;吴小国;孙大智;;基于电感耦合氧等离子体金刚石膜表面修饰的功率优化[J];光电子.激光;2011年07期
6 张营营;李成明;陈良贤;刘金龙;黑立富;吕反修;;金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能[J];材料热处理学报;2011年08期
7 刘燕文;韩勇;刘濮鲲;张连正;陆玉新;;螺旋线行波管慢波组件散热性能的研究进展[J];真空科学与技术学报;2011年04期
8 李建国;丰杰;胡东平;万强;;金刚石薄膜的双波段红外光学性能研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年03期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 金曾孙;吕宪义;杨广亮;吴汉华;李哲奎;刘建设;;金刚石膜中氮杂质状态的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
2 李明吉;吕宪义;孙宝茹;金曾孙;;氮气流量对金刚石膜生长的影响研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
3 廖克俊;王万录;马勇;吕建伟;;金刚石膜紫外发光性质的研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 王蜀霞;王万录;廖克俊;胡陈果;孔春阳;马勇;;P型半导体金刚石膜性质的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 李春燕;金曾孙;吕宪义;;乙醇对金刚石膜生长特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
6 刘凤艳;刘宇星;刘敏蔷;侯碧辉;;负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
7 楼燕燕;王林军;张明龙;顾蓓蓓;苏青峰;夏义本;;CVD金刚石紫外探测器[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
8 廖克俊;王万录;王蜀霞;许杰;李正;王必本;;纳米金刚石膜场发射性质的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
9 周克崧;代明江;匡同春;王德政;刘正义;;金刚石膜与硬质合金界面行为研究[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(下册)[C];1999年
10 罗廷礼;胡法竹;刘树林;;CVD金刚石用石墨衬底[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 北京科技大学 吕反修;金刚石膜:带起一个产业群[N];科技日报;2001年
2 剑坤;金刚石膜——我国新材料产业的新突破[N];科技日报;2000年
3 蒋占华;金刚石膜制备及应用开发项目获重大进展[N];中国建材报;2001年
4 雨同;商机到底在哪里?[N];山西日报;2003年
5 记者 吴曼;雷地科技获航天专家赞誉[N];证券时报;2004年
6 ;开拓创新的河北省科学院[N];科技日报;2003年
7 ;做产品的四大绝招[N];经理日报;2005年
8 见习记者 廖继锋 本报记者 华雪;欲上创业板公司大点兵之六[N];证券时报;2000年
9 吕反修 唐伟忠;纳米金刚石膜及其高技术应用[N];中国高新技术产业导报;2002年
10 钟才伦;纳米级金刚石镀膜为多种材质作“外衣”[N];中国有色金属报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
2 马兴伟;高速摩擦抛光金刚石膜用FeAl基合金抛光盘的制备及性能研究[D];大连理工大学;2011年
3 周建;微波等离子体化学气相沉积法制备高质量金刚石膜研究[D];武汉理工大学;2002年
4 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年
5 唐达培;直流电弧等离子体喷射金刚石膜残余应力及开裂破坏研究[D];西南交通大学;2009年
6 王兰;电流型CVD金刚石探测器研制[D];清华大学;2008年
7 朱亚波;碳纳米管及相关材料的生长与电学性质研究[D];重庆大学;2003年
8 Kamal Mahir Sulieman Khalil;半导体ZnO和ZnS纳米结构的制备与表征[D];华中师范大学;2007年
9 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
10 塞亚德;半导体ZnO新型纳米结构的理论与实验研究[D];华中科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马磊;热丝化学气相沉积金刚石膜的制备及其摩擦学性能研究[D];中国地质大学(北京);2012年
2 刘鹏飞;微波等离子体CVD法工艺参数对金刚石薄膜质量的影响[D];武汉工程大学;2012年
3 潘建伟;钢基镶嵌结构界面金刚石膜及其膜/基结合力的研究[D];华南理工大学;2012年
4 胡双;DC-PCVD法硼掺杂金刚石膜的制备及其生长特性研究[D];吉林大学;2012年
5 杜康;MPCVD金刚石膜的制备及其应用的研究[D];广州大学;2010年
6 侯雪;氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究[D];吉林大学;2012年
7 刘昌龙;CVD金刚石膜残余应力的数值模拟[D];西南交通大学;2012年
8 刘军伟;沉积条件对CVD金刚石膜生长及其掺杂影响的研究[D];吉林大学;2011年
9 吴健;硬质合金表面改性及其沉积金刚石膜的研究[D];广东工业大学;2002年
10 陈君;电火花抛光CVD金刚石膜研究[D];广东工业大学;2002年
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