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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ》2004年
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退火对sol-gel法生长的SiO_2薄膜特性的影响

郭嘉  龚明  许小亮  张慰萍  郭海  王燎原  陈滢滢  刘佩尧  刘洪图  
【摘要】:用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂)。以普通浮法玻璃为衬底,用漫渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜。对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变化,给出经验拟合公式。研究了退火时透过率、折射率以及气孔率的影响,并做出比较详细的理论解释。

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【引证文献】
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1 杜文龙;热释电传感器敏感头的制作与测试[D];中北大学;2010年
【参考文献】
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【共引文献】
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2 周彦煌;余永刚;陈劲操;陆欣;;火炮装药温度场测量方法及应用[J];兵工学报;2009年04期
3 张金咏,傅正义,王为民,张清杰;自蔓延高温合成(SHS)过程的热动力学研究[J];复合材料学报;2005年02期
4 李贤宇;李栋;;存在非均匀内热源的多孔介质内自然对流传热传质的数值研究[J];广东化工;2011年05期
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【同被引文献】
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2 张德银;黄大贵;李金华;董政;陈敏;;钽酸锂薄膜材料及其热释电红外传感器应用研究进展[J];材料导报;2007年03期
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10 李新起;闫肖萌;方俊武;董斌超;高朋召;;无机膜制备工艺、改性及成膜机理的研究进展[J];陶瓷学报;2008年02期
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【二级引证文献】
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3 吉特;葛敏;王文锋;张增艳;余笑寒;徐洪杰;;碳家族一些成员在太赫兹波段的特性[J];核技术;2006年08期
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1 郭嘉;龚明;许小亮;张慰萍;郭海;王燎原;陈滢滢;刘佩尧;刘洪图;;退火对sol-gel法生长的SiO_2薄膜特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
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3 刘庭芝;多树旺;张萌;向军淮;李明升;胡长员;;化学水浴中氨浓度对沉积ZnS薄膜的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
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7 魏爱俭;祁海峰;袁多荣;王增梅;;干涉法研究硅酸镓镧单晶的基本性质[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
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10 刘菊;沈志;常胜利;杨建坤;李修建;;全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统[A];第二届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2004年
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2 冯卫东;哈利波特有了新斗篷[N];科技日报;2009年
3 张忠霞;隐形材料应用广[N];人民日报;2008年
4 本报实习记者 胡珉琦;隐身地毯[N];北京科技报;2010年
5 张忠霞;“隐身衣”成功可期,还能让隐秘现形[N];新华每日电讯;2008年
6 日经;村田制作所开发出高折射率的透光性多晶陶瓷[N];中国有色金属报;2002年
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6 李世涛;透明导电ITO及其复合薄膜的研究[D];华中科技大学;2006年
7 张晓康;立方氮化硼薄膜的相变和光、电性能研究[D];兰州大学;2009年
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2 孙少妮;减反射薄膜膜系优化设计及工艺研究[D];东北大学;2006年
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6 林凤龙;新型高折射材料及其杂化薄膜制备与性质研究[D];福建师范大学;2008年
7 高旭东;AlN和Fe掺杂AlN薄膜的结构与性质[D];天津大学;2007年
8 王冬梅;Sol-gel法制备金属掺杂的多孔硅、铝氧化物复合材料[D];安徽大学;2011年
9 柳擎;PZT铁电薄膜的掺杂改性研究[D];华中科技大学;2005年
10 许少华;透波莫来石材料的制备与研究[D];武汉理工大学;2008年
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