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脉冲激光沉积法制备抗近红外/紫外金属氧化物纳米薄膜

朱超  官文超  龙华  曹远美  
【摘要】:用准分子脉冲激光沉积法(PLD)制备了一系列的锌、铁,钛、银、铝、硅、铜等的氧化物单层和多层薄膜,用AFM研究了薄膜的组成和结构;经紫外和红外光谱发现:抗紫外性能最好的是氧化锌,在190-380nm区间,其吸收率可达90%以上。抗近红外性能最好的是氧化银薄膜,其次依次是氧化铁、氧化锌、氧化钛、氧化铝、氧化铜;多层薄膜中,含有氧化锌层的抗紫外效果最好;含有氧化银层的抗近红外性能效果最好。如氧化铁/氧化锌/氧化银薄膜,在190-380nm区间,其吸收率接近100%,近红外(780-2500nm)吸收率在70%以上,最高可达90%。在可见先区其透过率在80%左右。

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