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温度及温度梯度对SiC单晶生长的影响

李现祥  李娟  董捷  王丽  姜守振  韩荣江  徐现刚  王继扬  胡小波  蒋民华  
【摘要】:利用升华法在高温低压下生长大直径SiC单晶.通过实验发现:在相同的轴向温度梯度下,SiC晶体平均生长速率随籽晶温度的升高而变大.通过减小轴向温度梯度,降低晶体生长界面的径向过饱和度分布,可以抑制多型的生长.通过优化温场的径向温度梯度,利用φ50mm的籽晶进行生长,得到了φ57mm的SiC单晶,实现了晶体的扩径生长.

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