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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ》2004年
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超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

张文英  黄楠  孙鸿  冷永祥  杨文茂  陈俊英  
【摘要】:采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

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