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《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ》2004年
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掺杂ZnO薄膜研究

郝瑞亭  刘焕林  杨宇  
【摘要】:采用电子束蒸发方法在玻璃村底上制备ZnO薄膜和掺杂ZnO薄膜.通过X射线衍射、台阶仪及Hall效应等测试研究了衬底温度和掺杂对晶体质量和电学性能的影响,发现原位生长的ZnO薄沿c轴择优生长,且掺杂ZnO薄膜具有低达3.029×10-4Ω·cm的电阻率.

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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李琳;季振国;张亚红;韩伟智;;氧化锌薄膜紫外光电导机理研究[J];半导体光电;2006年01期
2 徐庆安;张景文;杨晓东;巨楷如;贺永宁;侯洵;;生长温度对L-MBE制备的ZnO薄膜性能的影响[J];半导体光电;2006年03期
3 朱丽红;许海军;姚志涛;李新建;;ZnO/Si纳米孔柱阵列的真空蒸镀及其光致发光特性[J];半导体光电;2008年01期
4 孙剑;白亦真;谷建峰;刘明;张庆瑜;;基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响[J];半导体光电;2008年06期
5 唐平;廖雷;蒋坤朋;余卫平;覃爱苗;;基于可见光响应的纳米硒半导体器件[J];微纳电子技术;2012年01期
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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9 王丽丹;纳米ZnO基有机/无机复合光伏器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
10 韩舜;MgZnO薄膜及其紫外光电探测器制备和特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
3 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
4 云广平;不锈钢基Cu_2O/TiO_2膜的制备及光催化性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
5 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
6 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
7 刘金营;ZnO准一维阵列的制备和表征[D];吉林大学;2011年
8 王佳佳;电沉积锌/氧化锌薄膜及生长机理[D];吉林大学;2011年
9 王玮丽;基于ZnO薄膜的低阈值电压压敏电阻[D];杭州电子科技大学;2011年
10 李陆柯;氧化锌基纳米发光材料的制备及其光学性能的研究[D];中南大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐伟中,叶志镇,周婷,赵炳辉,朱丽萍,黄靖云;MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜[J];半导体学报;2005年01期
2 张源涛,杨小天,赵佰军,刘博阳,杨天鹏,李万成,刘大力,杨树人,杜国同;退火对MOCVD法生长ZnO薄膜性能的影响[J];半导体光电;2004年02期
3 朱宝富,黄柏标,秦晓燕,李先林,姚书山,尉吉勇,张琦;退火效应对MOCVD生长的ZnO薄膜的影响[J];人工晶体学报;2004年05期
4 张家跃;C轴取向ZnO薄膜的研制报告[J];测控技术;1994年04期
5 王卿璞,马洪磊,张兴华,张锡健;溅射法制备的ZnO薄膜的光发射[J];山东大学学报(理学版);2004年02期
6 包定华,王世敏,顾豪爽,黄桂玉,邝安祥;ZnO薄膜的Sol-Gel制备与结构分析[J];科学通报;1995年06期
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8 王卿璞,张德恒,薛忠营;射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年02期
9 刘建,李晓慧;离子束反应溅射ZnO薄膜的晶体结构及光学、电学性质研究[J];真空科学与技术;2004年06期
10 支壮志,李炳生,刘益春,吕有明,申德振,张吉英,孔祥贵,范希武;生长温度对等离子体增强化学气相沉积生长ZnO薄膜质量的影响[J];真空科学与技术学报;2002年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
2 陈菁菁;李冬梅;潘峰;;新型声表面波器件中氧化锌薄膜的研制[A];薄膜技术学术研讨会论文集[C];2003年
3 王银玲;李美成;彭化;赵连城;;真空退火对氧化钒薄膜的相成分和电学性能的影响[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
4 李丽;王万录;廖克俊;张瑞俭;杨丰帆;付光宗;;直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
5 姚斌;王相虎;申德振;丛春晓;吕有明;李炳辉;张振中;张吉英;赵东旭;范希武;;Li-N共掺p型ZnO的制备和形成机制[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
6 边继明;李效民;张灿云;赵俊亮;;ZnO基薄膜电子传输特性研究[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
7 李丽;方亮;廖克俊;刘高斌;杨丰帆;付光宗;;直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
8 陈瑞;边旭明;范佰杰;何春河;李丽;;射频溅射生长氧化锌及氧化锌的腐蚀[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
9 杨晓杰;许小亮;谢家纯;徐传明;徐军;刘洪图;;ZnO同质p-n结的研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
10 李明华;李军勇;陈达明;林杨欢;胡芸菲;沈辉;;利用电子束蒸发法制备硅薄膜的研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 于洋 张兆军;半导体/绝缘高分子复合材料研究获重大突破[N];中国技术市场报;2010年
2 中科院院士 陈星弼;愿第二次电子革命发生在中国[N];光明日报;2001年
3 佳莹;中科镓英立志实现以砷化镓为代表的半导体产业化[N];中国有色金属报;2003年
4 记者 刘霞;砷化铟可替代硅制造未来电子设备[N];科技日报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨小天;MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究[D];吉林大学;2004年
2 马艳;ZnO薄膜的MOVPE法生长、掺杂及X光取向研究[D];吉林大学;2004年
3 赵佰军;声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究[D];吉林大学;2004年
4 王应民;硅基和CIGS基ZnO薄膜生长及CIGS太阳能电池器件的研究[D];南昌大学;2006年
5 孙景昌;p-ZnO薄膜和ZnO发光器件的制备与研究[D];大连理工大学;2009年
6 杨春;ZnO/α-Al_2O_3(0001)薄膜生长初期的模拟研究[D];电子科技大学;2004年
7 张军;多功能ZnO薄膜的制备与性能研究[D];兰州大学;2007年
8 卢焕明;硅基ZnO薄膜与一维ZnO材料的显微结构研究[D];浙江大学;2006年
9 王永进;SOI光波导器件及其增透膜的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
10 刘晓明;InAsSb红外光电薄膜制备和表征与单元器件研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贾小龙;直流磁控溅射制备ZnO光电薄膜的研究[D];华中科技大学;2004年
2 苏凤莲;PLD和MOCVD方法生长的ZnO薄膜结构及发光性能[D];安徽大学;2005年
3 王兆阳;PLD方法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能分析[D];大连理工大学;2005年
4 叶志高;PLD(脉冲激光沉积法)制备ZnO基稀磁半导体薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2008年
5 林益梅;直流磁控溅射制备In-N共掺p型ZnO薄膜[D];浙江大学;2006年
6 张宁;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究[D];曲阜师范大学;2006年
7 陈文;Li和Mn掺杂ZnO压电薄膜的制备及性能研究[D];大连理工大学;2006年
8 赵跃智;用脉冲激光沉积法制备半导体薄膜及性能研究[D];西北工业大学;2006年
9 戴琨;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜工艺优化及其压敏特性研究[D];西北大学;2007年
10 邓雷磊;ZnO薄膜的制备及其特性研究[D];厦门大学;2007年
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