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采用氧化铝封装的薄膜式锰铜传感器

杜晓松  杨邦朝  周鸿仁  
【摘要】:采用薄膜工艺,实现了锰铜压阻元件在氧化铝绝缘体中的无胶封装。锰铜计以“后置式”方式工作。初步试验表明,这种结构的锰铜计可突破常规锰钢计约50GPa的高压测试上限,并且具有极快的响应。

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