采用氧化铝封装的薄膜式锰铜传感器

杜晓松杨邦朝周鸿仁

【摘要】：采用薄膜工艺,实现了锰铜压阻元件在氧化铝绝缘体中的无胶封装。锰铜计以“后置式”方式工作。初步试验表明,这种结构的锰铜计可突破常规锰钢计约50GPa的高压测试上限,并且具有极快的响应。

【作者单位】：电子科技大学信息材料工程学院电子科技大学信息材料工程学院电子科技大学信息材料工程学院
【基金】：电子科学研究院“九.五”军事电子预研资助
【分类号】：TP212

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	【参考文献】
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前3条

1	施尚春,张清福,罗教明,程菊鑫,陈攀森;镀膜锰铜计的压阻性能研究[J];高压物理学报;1992年01期
2	杜晓松,杨邦朝,王卉;快响应薄膜式高压锰铜传感器[J];仪器仪表学报;2001年01期
3	杜晓松,杨邦朝,王卉;薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器[J];仪表技术与传感器;2000年01期

	【共引文献】
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中国期刊全文数据库

前7条

1	杨邦朝,杜晓松;薄膜锰铜计对100GPa动压的测量[J];传感器世界;2001年09期
2	晏建武;周继承;鲁世强;田莉;;合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展[J];材料导报;2005年12期
3	崔红玲,杨邦朝,杜小松,滕林,周鸿仁;介质薄膜的制备及其电性能的测试分析[J];电子元件与材料;2004年05期
4	施尚春,董石,黄跃,周鸿仁;镀膜锰铜压阻计结晶问题研究[J];高压物理学报;2001年04期
5	王翔,傅秋卫;一种锰铜压阻测量新方法[J];高压物理学报;1996年02期
6	杜晓松,杨邦朝,王卉;薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器[J];仪表技术与传感器;2000年01期
7	杜晓松,郝建德,杨邦朝,周鸿仁;薄膜式锰铜传感器的超高压力标定[J];仪器仪表学报;2001年S1期

中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	杜晓松;郝建德;杨邦朝;周鸿仁;;薄膜式锰铜传感器的超高压力标定[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（上）[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前3条

1	杜晓松;锰铜薄膜超高压力传感器研究[D];电子科技大学;2002年
2	滕林;全量程超高压力薄膜传感器研究[D];电子科技大学;2005年
3	程啟华;气固两相流场中固体颗粒对弹底撞击应力测试技术研究[D];南京理工大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前2条

1	段建华;阵列化锰铜薄膜超高压力传感器的研究[D];电子科技大学;2003年
2	李赵春;基于虚拟仪器的自增强超高压测控系统整体方案研究[D];南京理工大学;2004年

	【二级参考文献】
	【二级参考文献】

中国期刊全文数据库

前1条

1	施尚春,张清福,罗教明,程菊鑫,陈攀森;镀膜锰铜计的压阻性能研究[J];高压物理学报;1992年01期

	【相似文献】
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前10条

1	;综合信息[J];无机盐工业;2011年08期
2	李攀敏;钟朝位;童启铭;庞祥;;电子封装用环氧树脂基复合材料的优化[J];电子元件与材料;2011年08期
3	范士海;;表贴元器件常见的失效模式及机理分析[J];电子产品可靠性与环境试验;2009年S1期
4	蒋勇;陈华;;基于GA的工程整定模糊PID烧结温度控制器[J];轻金属;2011年07期
5	柳拓鹏;;一种机载小型化雷达发射机的设计[J];雷达科学与技术;2011年04期
6	姜慧研;柴天佑;;基于可信间隔的特征选择方法研究[J];控制与决策;2011年08期
7	宋静;齐涛;曲景奎;;冶金流程模拟软件SYSCAD及其在湿法冶金中的应用[J];湿法冶金;2011年03期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	杜晓松;杨邦朝;周鸿仁;;采用氧化铝封装的薄膜式锰铜传感器[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2	邸伟;李玉静;高峰;;瓷坩埚替代铂坩埚在氧化铝灼减分析中的应用[A];2009（重庆）中西部第二届有色金属工业发展论坛论文集[C];2009年
3	陈志刚;陈彩凤;陈雪梅;;纳米氧化铝粉的液相合成技术[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4	白鹏;阎子峰;赵修松;;水溶液中自组装大规模合成一维氧化铝微纤维[A];第十一届全国青年催化学术会议论文集（上）[C];2007年
5	常玉芬;宁桂玲;林源;刘毅惠;刘靖;;一种新型耐温表面活性剂在球形Al_2O_3纳米粉制备中的应用研究[A];第六届全国颗粒制备与处理学术会议论文集[C];2000年
6	沈健;齐龙浩;潘伟;苗赫濯;;亚微米氧化铝陶瓷凝胶注模前期制备工艺[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
7	陈华辉;王亦工;裴嵩峰;张婷;桑玮玮;;氧化铝增强无机硅酸锌耐蚀抗磨涂层的研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
8	陈华辉;王亦工;裴嵩峰;张婷;桑玮玮;;氧化铝增强无机硅酸锌耐蚀抗磨涂层的研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
9	刘茜;王爱琴;张涛;谢在库;;三维花状介孔氧化铝的水热演变研究[A];第十一届全国青年催化学术会议论文集（上）[C];2007年
10	杨军;;我国铝矿山存在的问题与发展建议[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者徐琦;国家环保总局责令违法氧化铝项目停建[N];中国环境报;2005年
2	国家发改委价格监测中心朱险峰;氧化铝价格：难逃盛极而衰的法则[N];中国有色金属报;2005年
3	王中净梁鹏;我国氧化铝产量预计突破800万吨[N];中国有色金属报;2005年
4	李若馨;中铝公司下调氧化铝价格[N];消费日报;2009年
5	美尔雅期货研发部李莉;河南氧化铝企业调研报告[N];期货日报;2009年
6	记者星子;今年我省氧化铝进口仍保持相当规模[N];青海日报;2009年
7	朱险峰;供略大于需氧化铝价格近期将逐步回落[N];中国工业报;2005年
8	纪凡;氧化铝价格将逐步回落[N];中国矿业报;2005年
9	李莉;河南氧化铝企业的调研[N];中国有色金属报;2009年
10	周匀;国内外氧化铝呈现涨势[N];中国有色金属报;2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	姜志全;氧化铝薄膜表面的钼基模型催化剂的研究[D];中国科学院研究生院（大连化学物理研究所）;2005年
2	张立明;陶瓷悬浮液流变特性及胶态成型坯体缺陷的控制[D];清华大学;2005年
3	刘吉波;超声波强化铝酸钠溶液分解过程机理的研究[D];中南大学;2004年
4	温宁;牙科CAD/CAM用铝瓷材料的性能与渗透着色的研究[D];第四军医大学;2001年
5	温宁;牙科CAD/CAM用玻璃渗透氧化铝陶瓷的色度学研究[D];中国人民解放军军医进修学院;2004年
6	张战军;从高铝粉煤灰中提取氧化铝等有用资源的研究[D];西北大学;2007年
7	王辉;钇共掺杂的掺铒氧化铝光致发光增强机制研究[D];大连理工大学;2008年
8	邵延海;由废铝基催化剂制备高纯超细氧化铝的理论及技术研究[D];中南大学;2009年
9	赵敏伟;Pd-CZ-Al_2O_3模型催化剂的动态储放氧与三效催化性能研究[D];天津大学;2008年
10	周秋生;碳化硅/莫来石/氧化铝复合陶瓷的研制[D];中南大学;2001年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	庞利萍;特殊结构氧化铝空心球的制备及表征[D];北京化工大学;2008年
2	齐海涛;喷射沉淀法制备纳米α-Al_2O_3粉体技术研究[D];华北工学院;2004年
3	王建红;高铝多孔陶瓷支撑体耐腐蚀性能研究[D];南京工业大学;2005年
4	徐宏刚;利用烧结法氧化铝产生废渣生产炼钢精炼渣[D];中南大学;2005年
5	章新栾;掺铒氧化铝/硅多层薄膜发光特征的研究[D];南京大学;2011年
6	刘冰;反复玻璃渗透对In-Ceram氧化铝全瓷冠基底性能的影响[D];中国人民解放军第四军医大学;2003年
7	郝春云;放电等离子烧结氧化铝/氮化硅细晶复相陶瓷的研究[D];武汉理工大学;2005年
8	宋然然;Al_2O_3及Al_2O_3/ZrO_2纳米粉体的化学法制备与表征[D];青岛大学;2005年
9	张红宇;α-Al_2O_3多孔陶瓷无机膜支撑体及涂层研究[D];中北大学;2006年
10	江巍;氮气氛条件下氧化铝及铝的机械力化学效应研究[D];南京工业大学;2006年

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