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Φ2.5英寸掺Si水平砷化镓单晶的试制

于洪国  武壮文  尤宏涛  马明礼  
【摘要】:我们成功地制备出了直径为2.5英寸水平砷化镓单晶,其多种重要参数均符合要求。在实验中,我们采用了自行研制的新型水平单晶炉,这种水平炉具有一个特殊的加热装置,通过此加热装置,可以有效地控制界面的形状和位置。另外,在实验中,我们也解决了石英舟粘结和砷压起伏问题。通过采取以上措施,我们能够比较容易的制备出合格的单晶。

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