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《第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集》2001年
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质量分离低能离子束制备极光滑类金刚石薄膜

刘志凯  廖梅勇  姚振钰  柴春林  杨少延  王占国  
【摘要】:本文利用质量分离的低能离子束技术沉积得到了表面极为平整的类金刚石薄膜。样品用Raman谱和原子力显微镜进行了分析。并且研究了沉积能量对表面形貌和成分的影响。

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