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《第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集》1998年
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溶胶-凝胶法制备(PLZT)铁电薄膜及掺杂对介电性能的影响

罗民  曹传宝  汪浩  朱鹤荪  
【摘要】:用改进的Sol-Gel法在N型(110)Si片上制备出表面平整,无龟裂的PLZT铁电薄膜。研究了影响薄膜显微结构与电学性能的工艺参数,从中优化出最佳的工艺参数。研究表明溶胶液中乙酰丙酮分子是烯醇式结构,而且是通过它的一个氧原子以单齿配位的方式与金属成键。它能较好地控制溶胶中的水解。铁电薄膜在硅片上以多晶形态存在,是典型的钙钛矿型结构,有明显的择优取向。掺杂La、Zr可以提高材料的介电常数,同时增加介电损耗。
【作者单位】:北京理工大学材料科学研究中心
【分类号】:O484.42

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