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等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性

王吉会  贺小明  路新春  温诗铸  
【摘要】:利用双离子束辅助沉积技术,制备了类金刚石薄膜。并用XRD、XPS、Raman谱、FT-IR谱和AFM/FFM等方法对类金刚石薄膜的结构、化学状态、硬度、表面形貌及微观摩擦磨损特性进行了研究。实验结果表明,类金刚石薄膜是具有SP~3+SP~2混合键的非晶结构,SP~3的含量较高,其结构特征接近金刚石。类金刚石薄膜表面光滑,硬度高。类金刚石薄膜的微摩擦系数为0.04,低于同样条件下Si_3N_4探针/单晶硅Si摩擦副的微摩擦系数;耐磨能力较高。微摩擦力基本不随扫描次数而变化。

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