磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的结构特征
【摘要】:采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积了用于人工心瓣的类金刚石膜生物材料。考察了多种工艺条件下沉积膜的表面形貌、X射线衍射、光电子能谱和喇曼谱,结果表明该法沉积的碳膜为具有SP~3键的类金刚石膜。
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