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《第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集》1998年
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热电红外探测器用铁电薄膜的制备与特性研究

邓希敏  刘庆业  王静  兰艳梅  刘明登  
【摘要】:应用溶胶—凝胶法成膜技术,用金属盐和部分金属醇盐与醋酸盐混合物制备了BaSrTiO_3(BST)薄膜,其中组分为Ba_(0.7)Sr_(0.3)Ti_(0.3)薄膜,介电常数高,CV特性较好,另外还制备了BaSr(ZrTi)O_3(BSZT)薄膜,发现Zr的掺入,增加了凝胶的稳定性,并提高了薄膜的介电常数。

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