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《第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集》1995年
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液相法制备类金刚石薄膜

党海燕  曹传宝  赵清华  
【摘要】:本文介绍了一种通过液相法使用有机溶剂在40℃左右温度在硅衬底上生长类金刚石薄膜的新工艺,并对所生长薄膜的表面形貌和结构分别用扫描电镜和X光电子能谱进行了分析,初步鉴定薄膜是具有类金刚石结构的碳膜。
【作者单位】:北京理工大学材料中心
【分类号】:TB383.2

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