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火焰法中改变流量比(R)对合成金刚石薄膜的影响

赵继英  赵茂生  
【摘要】:在大气压下用燃烧火焰法制备了金刚石薄膜。金刚石薄膜的沉积受到许多因素的影响。实验表明,氧—乙炔流量比(R)对薄膜质量有重要影响,实验给出了流量比(R)的最佳值。

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