收藏本站
《第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集》1995年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MPCVD法在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜的研究

莫要武  夏义本  黄晓琴  王鸿  
【摘要】:用微波等离子体CVD(MPCVD)法在氧化铝陶瓷基片上沉积了一层金刚石薄膜。讨论了基片预处理对金刚石成核的影响及在氧化铝基片上沉积金刚石膜的机理。
【作者单位】:上海大学材料科学与工程学院
【基金】:国家自然科学基金资助项目
【分类号】:TB383.2

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杜康;徐伟;吴智量;贺中信;彭军;;磁镜场在直接耦合式微波等离子体CVD金刚石膜装置中的应用[J];纳米科技;2009年02期
2 黄建良;汪建华;满卫东;;微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展[J];真空与低温;2008年01期
3 满卫东;孙蕾;汪建华;谢鹏;;微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备[J];材料导报;2007年S2期
4 孙冰;李明标;赵乐发;;反应气压对生长金刚石膜的影响[J];渤海大学学报(自然科学版);2008年01期
5 赵利军;毕冬梅;王丽丽;;金刚石膜的制备方法及应用[J];湖南科技学院学报;2007年09期
6 王凤英;唐伟忠;姜春生;于盛旺;;椭球形微波等离子体金刚石膜沉积装置与金刚石膜的制备[J];金属热处理;2009年09期
7 杜康;徐伟;吴智量;贺中信;彭军;;直接耦合式微波等离子体CVD金刚石膜装置的研究[J];甘肃联合大学学报(自然科学版);2009年01期
8 安希忠;李长兴;刘国权;沈峰满;李友清;;CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展[J];中南大学学报(自然科学版);2010年03期
9 熊礼威;汪建华;满卫东;曹菊琴;谢鹏;;基片温度对金刚石厚膜生长的影响[J];武汉工程大学学报;2008年01期
10 魏俊俊;贺琦;高旭辉;吕反修;陈广超;朱秀萍;倪晋仁;;MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD电极上对硝基酚的阳极氧化测试(英文)[J];人工晶体学报;2009年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 莫要武;夏义本;黄晓琴;王鸿;;MPCVD法在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜的研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
2 陈新;胡征;王喜章;陈懿;杨绍光;都有为;;微波等离子体辅助化学气相沉积方法低温合成定向碳纳米管阵列[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
3 王非;杨冬;李春华;梁建;马淑芳;刘旭光;许并社;;GaN纳米线的制备与表征[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
4 周炽炜;蔡克峰;;化学气相沉积制备硅纳米棒阵列[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
5 杜红莉;许亚杰;曹传宝;;氮化硅钠米带的合成及光学性质的研究[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
6 陈亚彬;张锦;刘忠范;;单壁碳纳米管的硅基自组装膜催化生长[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
7 李海鹏;赵乃勤;师春生;杜希文;李家俊;刘远;;催化剂类型对铝基体上碳纳米管合成效果的影响[A];第九次全国热处理大会论文集(一)[C];2007年
8 韩翠林;赵东林;沈曾民;;螺旋形碳纤维手性吸收剂的制备及其微波电磁特性研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
9 王君;陈长琦;朱武;刘珍;陈明;;氮化硅化学气相沉积过程的量子化学研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
10 周克崧;代明江;匡同春;王德政;刘正义;;金刚石膜与硬质合金界面行为研究[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(下册)[C];1999年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 吕反修 唐伟忠;纳米金刚石膜及其高技术应用[N];中国高新技术产业导报;2002年
2 ;一种发光粉包封膜的制备方法[N];中国包装报;2004年
3 吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年
4 华伦;碳纳米管稀土氧化物研究获进展[N];中国化工报;2004年
5 陈捷;我国表面纳米技术研究取得突破[N];经济日报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 胡昌义;CVD Ir/Re复合材料研究[D];中南大学;2002年
2 牛俊杰;一维纳米硅材料的制备与性能研究[D];浙江大学;2005年
3 刘金章;一维纳米功能材料的制备与特性研究[D];兰州大学;2006年
4 唐达培;直流电弧等离子体喷射金刚石膜残余应力及开裂破坏研究[D];西南交通大学;2009年
5 李昱;纳米碳管的制备、表面修饰及其初步用于葡萄糖生物传感器的研究[D];浙江大学;2005年
6 孔春阳;金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究[D];重庆大学;2002年
7 李海鹏;碳纳米管在铝基体上原位合成及其复合材料的组织与性能[D];天津大学;2008年
8 卓仁富;氧化锌纳米材料的制备、表征及微波吸收性能[D];兰州大学;2009年
9 朱峰;氧化镓准一维纳米材料制备、特性及应用的基础研究[D];上海交通大学;2006年
10 张滨;几种低维材料的制备、微结构与性能[D];东北大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马磊;热丝化学气相沉积金刚石膜的制备及其摩擦学性能研究[D];中国地质大学(北京);2012年
2 潘建伟;钢基镶嵌结构界面金刚石膜及其膜/基结合力的研究[D];华南理工大学;2012年
3 郝振华;化学气相沉积法制备ZrO_2涂层的显微结构与性能研究[D];中南大学;2012年
4 张衡;纳米金刚石薄膜和p型金刚石薄膜的制备和性能研究[D];浙江大学;2006年
5 周雅;CVD法在不同基底上制备碳纳米管及其机制研究[D];清华大学;2005年
6 王宏;梯度表面能材料表面特性及液滴运动机理[D];重庆大学;2005年
7 丁书龙;ZnO一维纳米材料的制备[D];湘潭大学;2005年
8 余军;一维硅纳米材料的制备和表征[D];浙江大学;2005年
9 石晓林;金刚石厚膜在机械加工领域的应用[D];吉林大学;2007年
10 付小娟;碳纳米管的电化学储氢性能研究[D];广东工业大学;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026