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《首届中国功能材料及其应用学术会议论文集》1992年
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金刚石薄膜的国内外发展概况

蒋瑞亭  
【摘要】:由于金刚石薄膜具有高硬度、高强度、高耐磨、高导热、高绝缘、高抗辐射、高弹性模量和低密度、低热胀系数及全光学波段透过率等综合优异性能,科学家们对金刚石薄膜的发展前景给与如此之高的评价:"今后若干年内金刚石薄膜将改变整个工业面貌。它的发现可以与硅、铝的发现相提并论,在近期内,比高温超异材料还重要。对技术的冲击和影响可超出我们预想的程度和范围。今后有可能成为衡量工业发达程度的标准之一"。
【作者单位】:天津市半导体技术研究所
【分类号】:TB383.2

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