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非掺杂、硼掺杂金刚石薄膜的气相合成及性质研究

于三  邹广田  金曾孙  吕宪义  
【摘要】:正1引言金刚石是自然界中最硬的物质,并兼具多种优异的物理化学特性。自从Setaka等人建立了气相合成金刚石的CVD方法以来,金刚石的合成研究进入了一个新的历史阶段,尤其是气相方法便于薄膜材料的制备,从而为深入研究金刚石的物理化学性质,开发其新的应用领域创造了条件。

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