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压电双晶片直线微动马达研究

董蜀湘  李龙土  桂治轮  秦平  周铁英  张孝文  
【摘要】:正1引言压电微动马达与致动器,由于它的高位移控制精度(小于μm),以及能量转换效率高,体积小,结构简单,已广泛的应用于STM中的探针驱动,计算机中的光盘驱动,光学系统自动调焦,以及新兴的纳米科学技术。

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