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氧化锆陶瓷膜片的应用

蒋本雨  
【摘要】:正1前言利用陶瓷材料,做压力传感器的弹性敏感元件一膜片、膜盒,是一个研究方向,陶瓷材料有明显的优点,例如耐高温,可以在1200℃下,能正常工作,在温度为200℃以下其性能更是稳定,有利于提高传感器性能稳定性;陶瓷材料能耐多种化工介质的氧化,腐蚀,与多种介质相容,很利于一个传感器测量多种介质。国外已有用陶瓷做敏感元件的实物出现,中国是陶瓷材料最早应用的国家,势必要迎头赶上研制出用国产陶瓷做敏感元件。

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