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电沉积Co—P非晶合金磁元件的研制

丁炳哲  PeterZhou  C.D.Graham  
【摘要】:正电沉积的Co—P非晶合金薄膜,具有低的矫顽力Hc和高的磁导率μ值,是良好的钦磁材料。关于Co—P非晶薄膜的制备与磁性能,已有一些报导。但是应用一般的电沉积方法制备的Co—P薄膜,由于存在着垂直各向异性,而影响材料的钦磁性能,限制了材料的应用。我们研究出震动阴极的电沉积Co—P薄膜方法,得到了良好的效果,薄膜材料具有低Hc和高μ值,并作为磁敏感元件在实际器件中得到了应用。

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