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《第一届中国微电子计量与测试技术研讨会论文集》2008年
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前言

【摘要】:正微电子技术是当代技术革命的核心,微电子技术的发展,离不开微电子计量与测试。当前,微电子器件呈现出规模愈来愈大、结构愈来愈复杂、功能愈来愈强的特点,使微电子计量与测试面临极大的挑战。
【分类号】:TN40

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