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《2005年机械电子学学术会议论文集》2005年
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计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算

赵剑  康春霞  贾建援  
【摘要】:静电力是微机电系统(MEMS)中应用最多的驱动力之一。本文从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发,应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式,在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式。通过与有限元计算结果对比,得到了不同计算公式的精度,其中应用复变函数方法得到的简化公式形式简单,精度高,能够满足工程计算要求。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前4条
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中国硕士学位论文全文数据库 前7条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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10 万学功;基于LabWindows/CVI与EMD方法的动态称重系统研究[D];江苏大学;2008年
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