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《薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集》 2009年
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AZO透明导电薄膜的研究进展

张俊双  叶勤  
【摘要】:掺铝氧化锌透明导电薄膜(AZO)具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,作为ITO的替代材料成为了当前研究的热点。本文主要介绍了AZO薄膜的晶体结构、导电机理、光电性能、典型制备技术和应用现状,并对其研究前景进行了展望。

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