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中频反应溅射镀制光学薄膜的研究

刘志宇  王小辉  卫红  熊树林  
【摘要】:本文采用中频反应溅射的方法,在玻璃表面沉积高折射率氧化物与低折射率氧化物材料,制备出具有一定光学性能、强附着力的薄膜.利用分光光度计对其光谱分析,并展望了中频反应溅射镀制光学薄膜的发展方向与应用前景.

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