中频反应溅射镀制光学薄膜的研究

刘志宇王小辉卫红熊树林

【摘要】：本文采用中频反应溅射的方法,在玻璃表面沉积高折射率氧化物与低折射率氧化物材料,制备出具有一定光学性能、强附着力的薄膜.利用分光光度计对其光谱分析,并展望了中频反应溅射镀制光学薄膜的发展方向与应用前景.

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中国期刊全文数据库

前20条

1	王治安;王军生;童洪辉;;PEM控制中频反应磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究[J];真空;2011年04期
2	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘志宇;王小辉;卫红;熊树林;;中频反应溅射镀制光学薄膜的研究[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
2	张铮;李海欣;;大功率串联谐振中频电源监控系统[A];2010全国机械装备先进制造技术(广州)高峰论坛论文汇编[C];2010年
3	张铮;李海欣;;大功率串联谐振中频电源监控系统[A];节能减排绿色制造智能制造——低碳经济下高技术制造产业与智能制造发展论坛论文集[C];2010年
4	武海顺;许小红;张聪杰;张富强;;反应溅射制备AIN纳米薄膜中沉积速率的研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集（上卷）[C];2001年
5	李昌钧;何方;;适应感性负载的优质中频电源[A];展望新世纪——’02学术年会论文集[C];2002年
6	李昌钧;何方;;适应感性负载的优质中频电源[A];中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会论文集[C];2002年
7	黄银松;章俞之;胡行方;;溅射法制备氧化铌电致变色薄膜的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8	包华;陆海龙;殷浩;蒋云峰;汪飞;杨希;;ESP用三相中频电源的研究[A];2008中国电工技术学会电力电子学会第十一届学术年会论文摘要集[C];2008年
9	杨栓平;邱扬;程丽丽;;高性能中频电源EMI滤波器的设计[A];全国电磁兼容学术会议论文集[C];2006年
10	吴现成;王印月;;室温溅射制备的α-SiCN:H膜的结构和光电特性研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	谢孟;单相400Hz中频电压源逆变器的输出控制及其并联运行控制[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年
2	周香全;电流源型半桥式晶闸管中频电源[D];南开大学;2009年
3	王立无;红外薄膜系统的设计和制备[D];四川大学;2007年
4	马紫微;HfO_2薄膜的溅射制备及其性能研究[D];兰州大学;2011年
5	张义民;1MeV强流中子发生器供电系统研究[D];兰州大学;2006年
6	李鹏;外延铁氧化物薄膜及其异质结构的各向异性[D];天津大学;2011年
7	李侃;FBAR微质量传感器若干关键问题的研究[D];浙江大学;2011年
8	佟为明;PWM逆变器特定消谐式谐波抑制技术的研究[D];哈尔滨工业大学;1999年
9	姜蕾;集成电路Cu互连工艺中的Ta基扩散阻挡层研究[D];复旦大学;2003年
10	张宇;D-T/D-D中子发生器技术研究[D];兰州大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘景成;改善中频电源电能质量方案的分析[D];山东理工大学;2012年
2	马川;ESP三相中频直流高压电源的控制回路设计[D];大连工业大学;2010年
3	郭伟东;基于DSP的串联谐振式中频电源的研究[D];西安科技大学;2012年
4	何勇志;大功率串并联晶闸管中频电源启动方法的研究[D];湖南大学;2003年
5	刘昕;反应磁控溅射制备（Ti,Al）N薄膜的研究[D];中南大学;2004年
6	刘文胜;基于模糊控制技术的中频淬火电源的研究[D];吉林大学;2005年
7	赖云锋;利用磁控溅射仪制作平面薄膜型H_2S硅微传感器[D];福州大学;2003年
8	段忠习;稠油油井中频加热电源设计[D];合肥工业大学;2005年
9	段宏波;基于BP神经网络的中频电源平衡控制器的研究[D];西安科技大学;2005年
10	赵众;单相400Hz中频电源复合控制技术的研究[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	河南高光西高虎;用兆欧表检修中频电源的经验[N];电子报;2007年
2	本报记者　陈扬渲通讯员　傅炜琳刘成龙;创新先锋赤子情怀[N];浙江日报;2006年
3	本报通讯员沈中兴;情系中小企业[N];科技日报;2002年
4	河南李兴华;新型晶闸管中频电源原理与调试(一)[N];电子报;2007年
5	单盛达;激情与责任[N];中国高新技术产业导报;2005年
6	朱林俞松尧;中频感应电炉的优势和发展[N];中国冶金报;2002年
7	本报通讯员　古领华梁庆松熊汉臣;上校“新兵”建殊勋[N];光明日报;2006年
8	熊朝明韩啸;七一六一天内8个项目通过鉴定[N];中国船舶报;2006年
9	本报记者胡左;知识的力量[N];科技日报;2011年
10	中国直升机研究所所长倪先平党委书记但神庆;跨越式发展的中国直升机技术[N];中国航空报;2002年

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