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《薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集》 2009年
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使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法

周鸿飞  马洪涛  
【摘要】:类金刚石薄膜是广泛应用的新型材料。介绍了拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的原理,对不同类型薄膜与不同波长光谱的情况进行了总结:可见光拉曼光谱中,随着sp~3含量的增加,I_D/I~G减小,sp~3含量较低的薄膜G峰位置向低频方向偏移;sp~3含量较高的薄膜G峰位置向高频方向偏移。紫外拉曼光谱中G峰位置比相应的可见光光谱要高,并且存在T峰,可直接表征sp~3含量。同时以热处理、离子轰击能量为例对拉曼光谱的应用进行了说明。

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