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真空阴极电弧沉积类金刚石薄膜及其应用

【摘要】:正本研究成功地采用真空阴极电弧沉积出优质类金刚石薄膜,本成果解决了真空石墨电弧长时间"稳弧"的技术难题,同时,采用过渡层方法提高了膜/基结合力,奠定了类金刚石

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