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离子束辅助沉积陶瓷-金属封接

伍智  解永蓉  杨卫英  邹桂娟  曾敏  
【摘要】:正针对特种电真空器件发展对陶瓷种类的多样性和陶瓷金属封接的高性能要求,研究了高强度和适应多种陶瓷的高适应性封接技术。采用离子束辅助沉积钛铁合金膜方法,对陶瓷表面先进行金属化,然后进行真空焊接,以实现陶瓷的封接。研究了离子束辅助沉积钛铁合金膜的控制过程、沉积速率和工艺过程,分析了沉积的金属化膜的组

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