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铜薄膜表面防护

席仕伟  张德  丁元萍  李福军  武蕊  李玉萍  
【摘要】:正产品在完成了原理性试验以后,需要解决的是其在工程研制阶段如何提高产品质量与可靠性等问题。在不影响工作性能前提下,将残留在器件铜膜表面起防护作用的光刻胶改为具有防腐蚀功能的材料,可以提高产品的可靠性。作为整个装置中的一个重要器件和需要装配的“半成品”,它的任一改动都要求尽量不改动其它相关部件的结构及参数。因此,防护方案必须兼顾产品的装配工艺,同时防护层与铜层应具有良好附着力和可焊性,以及相近的物理化学

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