钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺

【摘要】：正钯钇合金膜是用于氢同位素提取、分离和纯化的一种较好的材料。采用离子束辅助沉积技术制备钯钇合金膜是一种尝试,但为了控制沉积的速率,需要进行条件实验,以有效控制膜的厚度。采用的载体为n型(100)取向的单晶硅片,溅射靶为Pd靶(。101mm×100mm×1mm)、 Y靶(109mm×100mm×5mm)、PdY合金靶(100mm×100mm×1mm),Pd-Y合金靶ω(Y)

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前20条

1	郑锋;张巧云;;6.5%Si钢的制备工艺[J];特钢技术;2011年02期
2	李建立;苏哲安;张明瑜;杨鑫;黄启忠;;高密度预制体制备炭/炭复合材料致密化研究[J];无机材料学报;2011年07期
3	;施工工艺[J];涂料技术与文摘;2011年07期
4	徐东;高玉新;方志刚;;电火花沉积技术研究的最新进展[J];台州学院学报;2011年03期
5	王健;余志明;吴晓斌;刘倩;;沉积参数对Mo-Re合金基体上沉积金刚石薄膜的影响[J];中国有色金属学报;2011年06期
6	高飞;王涛;沈乔;邹家生;;在紫铜上电火花沉积Ni/金属陶瓷涂层的工艺研究[J];江苏科技大学学报(自然科学版);2011年03期
7	李浩然;刘欣伟;马玉文;赖斌;;羰基镍生产技术的发展现状[J];粉末冶金技术;2011年04期
8	陈峰武;周灵平;朱家俊;李德意;彭坤;李绍禄;;热丝CVD法制备大面积金刚石薄膜基片的变形[J];机械工程材料;2011年07期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
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18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王和义;傅依备;韩军;;钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
2	潘峰;曾飞;赵斌;;离子束辅助沉积非晶合金薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3	伍智;解永蓉;杨卫英;邹桂娟;曾敏;;离子束辅助沉积陶瓷-金属封接[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
4	苏康;邵天敏;;离子束辅助沉积制备TiAlSiN复合薄膜及其性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
5	潘永强;杭凌侠;罗廷;;电子束蒸发二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究[A];2007年全国第十六届十三省（市）光学学术会议论文集[C];2007年
6	谭俊;张平;蔡志海;王晓晴;唐云;;离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
7	王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积钯钇合金膜表面性能[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
8	张以忱;吴宇峰;巴德纯;马胜歌;;中频离子辅助溅射Ti／TiN／Ti(C,N)膜层的结构性能[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
9	张峰;范镝;高劲松;;碳化硅表面硅改性层的特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
10	王三胜;;离子束辅助沉积技术及其在YBCO覆膜导体制备方面的应用进展[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	Samir Hamid Awad Al-Rubyai;用Al_2O_3/Tin双联沉积工艺改善铝合金在重载条件下的摩擦性能[D];重庆大学;2005年
2	鲁平;新型阵列波导器件的理论与实验研究[D];华中科技大学;2005年
3	王程越;组织工程化骨修复兔下颌骨缺损同期种植体植入的实验研究[D];中国医科大学;2007年
4	武洪臣;动态鞘层长探针检测及保形增强沉积工艺初步探索[D];大连理工大学;2009年
5	蒋军;微波管中抑制栅电子发射及其冷阴极的探索[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年
6	周家斌;Ni-AlN太阳能选择性吸收涂层中频磁控溅射技术研究[D];中国地质大学（北京）;2007年
7	张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
8	樊志琴;碳纳米管膜的制备及场发射特性研究[D];郑州大学;2003年
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10	王胜民;机械镀锌无结晶形层的研究[D];昆明理工大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	杨伟声;离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究[D];南京理工大学;2008年
2	任毅;Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究[D];中国地质大学（北京）;2007年
3	金永军;高气压直流辉光放电及碳纳米管的制备[D];吉林大学;2005年
4	李拥秋;热解碳沉积工艺及冷态喷动模拟实验研究[D];四川大学;2004年
5	李新领;装饰薄膜氮化锆的中频反应磁控溅射沉积工艺的研究[D];河北农业大学;2005年
6	秦聪祥;钛基及锆基多元氮化物薄膜的组织与性能研究[D];广东工业大学;2006年
7	曹猛;离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2008年
8	开花;斜入射离子束辅助沉积类金刚石膜的模拟研究[D];内蒙古民族大学;2008年
9	郭德成;C_2在金刚石（111）表面吸附和离子束辅助沉积类金刚石膜的分子动力学模拟[D];内蒙古民族大学;2009年
10	鲁嘉;电子束蒸发制备抗激光损伤ZrO_2/SiO_2膜系及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;大芯径塑料包层多模石英光纤技术[N];科技日报;2007年
2	陈杰;光纤预制棒进入“节流”时代[N];通信产业报;2006年
3	本报记者　孙利民;自主创新提升企业核心竞争力[N];科技日报;2006年
4	本版编辑　　记者诸玲珍徐恒卓尔;多晶硅投资热度不减质量和成本将成竞争焦点[N];中国电子报;2008年
5	郁红;康宁公司推出新型光纤[N];中国化工报;2007年
6	记者刘荣慧特约记者李谱李学锋;耀华在线LOW-E和SUN-E玻璃实现规模化生产[N];中国建材报;2003年
7	顾定槐何宁;瓦克建太阳能电池粒状硅新装置[N];中国化工报;2007年
8	筱彤;将节能进行到底[N];中国房地产报;2003年
9	本报记者马晓峰河北记者王国平;建筑玻璃节能的第三次革命[N];中国房地产报;2004年
10	本报记者班彦钦;夺艳群芳秀三晋[N];山西日报;2001年

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