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钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺

王和义  傅依备  韩军  
【摘要】:正钯钇合金膜是用于氢同位素提取、分离和纯化的一种较好的材料。采用离子束辅助沉积技术制备钯钇合金膜是一种尝试,但为了控制沉积的速率,需要进行条件实验,以有效控制膜的厚度。采用的载体为n型(100)取向的单晶硅片,溅射靶为Pd靶(。101mm×100mm×1mm)、 Y靶(109mm×100mm×5mm)、PdY合金靶(100mm×100mm×1mm),Pd-Y合金靶ω(Y)

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