离子束辅助沉积纳米钯钇合金膜性能

【摘要】：正在离子束辅助沉积装置上,采用分层镀膜的方式探索纯靶直接制备钯钇合金膜的可行性。载体(n型单晶硅片)和靶材(钯靶和钇靶)经去污处理后,钯(Pd靶)和钇(Y靶)分别装于离子束辅助沉积装置的左右两个靶台上,载体放在样品台上。离子束辅助沉积条件为离子束轰击能量为20keV,溅射源束流100mA,本底真空约0．4mPa,工作真空约4mPa,

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中国期刊全文数据库

前20条

1	孙延东;颜景岳;张帅;董磊;曹猛;刘梦寅;李德军;;离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB_2纳米多层膜的研究[J];天津师范大学学报(自然科学版);2011年03期
2	;[J];;年期
3	;[J];;年期
4	;[J];;年期
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17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积纳米钯钇合金膜性能[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
2	王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积钯钇合金膜表面性能[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
3	潘峰;曾飞;赵斌;;离子束辅助沉积非晶合金薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
4	伍智;解永蓉;杨卫英;邹桂娟;曾敏;;离子束辅助沉积陶瓷-金属封接[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
5	苏康;邵天敏;;离子束辅助沉积制备TiAlSiN复合薄膜及其性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
6	谭俊;张平;蔡志海;王晓晴;唐云;;离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
7	张峰;范镝;高劲松;;碳化硅表面硅改性层的特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8	王和义;傅依备;韩军;;钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
9	王三胜;;离子束辅助沉积技术及其在YBCO覆膜导体制备方面的应用进展[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10	金杰;徐志潜;过骐千;王锦辉;明建川;李刘合;;离子束辅助沉积TiCN复合结构多功能膜的研究[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前7条

1	鲁平;新型阵列波导器件的理论与实验研究[D];华中科技大学;2005年
2	王程越;组织工程化骨修复兔下颌骨缺损同期种植体植入的实验研究[D];中国医科大学;2007年
3	柯博;ECR等离子体/离子束平台建设与硅基纳米材料的调控生长[D];中国科学技术大学;2012年
4	蒋军;微波管中抑制栅电子发射及其冷阴极的探索[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年
5	张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
6	刘天伟;铀表面离子镀氮化物防护薄膜研究[D];大连理工大学;2006年
7	沈彬;超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	秦聪祥;钛基及锆基多元氮化物薄膜的组织与性能研究[D];广东工业大学;2006年
2	曹猛;离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2008年
3	开花;斜入射离子束辅助沉积类金刚石膜的模拟研究[D];内蒙古民族大学;2008年
4	郭德成;C_2在金刚石（111）表面吸附和离子束辅助沉积类金刚石膜的分子动力学模拟[D];内蒙古民族大学;2009年
5	杨伟声;离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究[D];南京理工大学;2008年
6	鲁嘉;电子束蒸发制备抗激光损伤ZrO_2/SiO_2膜系及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年
7	谭明;离子束辅助沉积ZrB_2/AlN和ZrB_2/WN_x纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2009年
8	贺悦;退火温度对金属薄膜残余应力和机械性能影响的研究[D];清华大学;2009年
9	吴宇峰;离子束辅助中频非平衡磁控溅射制备Ti-N-C膜的研究[D];东北大学;2006年
10	任毅;Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究[D];中国地质大学（北京）;2007年

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