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交叉梁硅微加速度开关设计

苏伟  李枚  
【摘要】:正当敏感运动物体的加速度达到开关阈值时,加速度开关给出开关信号。研究一种利用湿法腐蚀工艺加工的硅微加速度开关,该开关为敏感芯片结构。设惯性力的大小为F,方向沿Y轴向下,作用在d点,如图1所示。这就相当于在两根梁的端点施加了作用力F1,F2和力矩M1,M2。当结构变形很小,EIFl2(l为梁的长度,E为材料的杨氏弹性模量,I为转动惯量)时,可近似认为F1=F2=F/2,挠度Y=(2Fcosθ l3+3Ml2)/12EI。由于Y很小,方向垂直于梁的长度方向,可认为端部的位移是绕z轴的转动,转角为γ,刚度为K。

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