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《中国工程物理研究院科技年报(2001)》2001年
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大口径衍射光学元件技术

杨春林  柴立群  杨李茗  许乔  
【摘要】:正为保证ICF驱动系统的正常、安全运行,驱动器中的每一路激光,需要对其三倍频光进行分光、检查抽样和整形。这些功能是利用衍射光学原理所制备的元件来实现的。在NIF 系统中,由分光光栅(CSG)、取样光栅(BSG)和整形器件(KPP)三块光栅完成。神光Ⅲ原型装置最重要的设计实现目标是“1ns,3ω,1kJ/束,小焦斑进洞”。在三倍频终端光学系统中,设计方案也使用了前述的三类大口径衍射光学元件。大口径衍射光学元件的制作需要解决一系列关键技术问题,包括大口径匀胶技术,BSG全息光刻技术,CSG 光刻技术和光栅检测几个方面。
【分类号】:TH74

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