中心波长28．5nm多层膜镜反射率测量

【摘要】：正28．5nm多层膜反射镜是低驱动功率X射线激光(XRL)应用研究必需的光学元件,要获得这种波长的高效率多层膜镜相当困难。有关单位曾研制过多种材料和结构的中心波长 28．5nm的多层膜反射镜,均因其效率太低而导致相关XRL应用实验未能进行。由于制作工艺的复杂性,实际反射率和理论反射率可以有很大不同,即使同一批次加工的反射镜其个体特性也可能差异很大。因此,其性能标定的重要性日渐突出。由于缺少合适的单色源, 中心波长28．5nm多层膜镜的实验标定也非常困难。为了建立多层膜反射镜效率的实验标定方法并确定反射率,用类Ne铬X射线激光作为标定源,以平场光栅谱仪为分光元件在星光Ⅱ激光器上进行了多层膜镜反射率的实验测量。