应用原子力显微镜测量多层球壁厚
【摘要】:正由于塑料靶丸的多层结构,精确测量其总壁厚及各壳层厚度为靶参数测量中的难题。 R.B.Stephens等是将多层球X光底片用高分辨率CCD数字化后输入计算机,利用专用软件对图像沿径向对角度进行求和平均,或对图像进行插值平滑等方法达到精确测量的目的。上述两种方法虽然精度较高(界面确定精度0.1μm),但均需要专门的分析处理软件。原子力显微镜在分析样品表面形貌具有高分辨率的特点,其扫描的图像可直接用于数据处理和分析。多层球X光照相底片经过曝光、显影定影后,微球成像处形貌发生了变化,这种
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