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硬质合金表面沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜的研究

赵时璐  张钧  刘常升  
【摘要】:采用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,用多弧离子镀技术在WC-8%CO硬质合金基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜。分析了薄膜的成分、结构和微观组织,并研究了薄膜的显微硬度、膜/基结合力和抗高温氧化性能。结果表明,获得的多元氮化物膜仍是B1-NaCl型TiN面心立方结构;在不同的偏压下,(Al+Zr+Cr)/(Ti+Al+Zr+Cr)的成分比值为0.41-0.43;适当增大偏压可以减少沉积过程中薄膜表面的液滴污染,提高薄膜的显微硬度和膜/基结合力,最高可分别达到HV3600和200N;同时薄膜的抗高温氧化性能提高,最高可达700℃左右。

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