原位椭圆偏振光谱法研究不同缓蚀剂对碳钢的缓蚀作用机理
【摘要】：正椭圆偏振光谱法(Spectroscopic Ellipsometry,SE)是通过分析偏振光在界面层中反射前后相位和振幅的改变(分别用偏振参量Delta和Psi表示),确定界面层光学常数、厚度和粗糙度等物理量的方法,该方法对金属表面膜或吸附层的测定十分灵敏,可以检测0.1-0.01nm厚度的变化,因而能获得
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