收藏本站
《福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集》2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微位移机构及其控制技术研究现状和发展

肖成榕  张建寰  
【摘要】:本文对微位移机构的原理、结构、特点及应用进行了简要地分析与比较,并以压电陶瓷驱动的柔性铰链机构为例阐述了微位移机构的控制方法及发展趋势。
【作者单位】:厦门大学机电工程系 厦门大学机电工程系
【分类号】:TH703.8

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 杜宏;;机械制造领域测量技术的发展探究[J];化学工程与装备;2012年09期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 嵇国金,马奎,王磊;微纳定位/进给技术研究现状[J];微纳电子技术;2003年05期
2 曲炳郡,李路明,张玉玲,王立鼎;形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究[J];大连理工大学学报;2001年01期
3 孙宝玉,刘巨,岳晓峰,王登月,任建岳;一种超精密压电式微位移机构研究[J];哈尔滨工业大学学报;2004年04期
4 节德刚,孙立宁,曲东升,王力,蔡鹤皋;压电陶瓷微位移系统的模糊PID控制方法[J];哈尔滨工业大学学报;2005年02期
5 李圣怡,黄长征,王贵林;微位移机构研究[J];航空精密制造技术;2000年04期
6 张德远,黎向锋,李雅芹;生物制造——一种新型微/纳米制造技术[J];航空制造技术;2001年04期
7 赵岩;电致伸缩式微进给系统的研制[J];航天制造技术;2003年05期
8 王建林,胡小唐;纳米定位技术研究现状[J];机械设计与研究;2000年01期
9 李德选,罗翔,田梦倩,颜景平;一种适用于微操作的驱动技术[J];机械设计;2004年12期
10 蔡萍;微纳米检测技术的研究进展[J];上海计量测试;2002年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 嵇国金,马奎,王磊;微纳操作器运动学分析[J];微纳电子技术;2003年03期
2 邓俊泳,冯勇建;聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用[J];微纳电子技术;2003年04期
3 王艳华,孙道恒;硅尖的制备[J];微纳电子技术;2003年Z1期
4 熊韬,易新建,陈四海,陈明祥,周少波;应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;MEMS微致动器的研究[J];微纳电子技术;2004年09期
6 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
7 马奎,戴晖,董卫军;二维整体式微米工作台解耦问题的研究[J];微纳电子技术;2005年02期
8 陈兵芽;刘莹;胡敏;李小兵;李一冰;王强;;微执行器的研究与展望[J];微纳电子技术;2005年12期
9 熊建功;郑小林;赵志强;文静;;基于MEMS的高效细胞电融合系统的芯片设计[J];微纳电子技术;2006年06期
10 沙菁;侯丽雅;章维一;朱丽;;微流体系统驱动技术的研究进展[J];微纳电子技术;2006年12期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
2 徐从裕;余晓芬;;快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王希花;基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
3 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
4 叶果;面向生物工程的精密定位机构及其动力学特性研究[D];中国矿业大学;2011年
5 孙丽波;微板多物理场耦合非线性动力学研究[D];燕山大学;2011年
6 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
7 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
9 曲炳郡;TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺及其单元互联微执行器研究[D];大连理工大学;2002年
10 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林子贺;基于压电陶瓷驱动的刀具磨损补偿系统的设计[D];大连交通大学;2010年
2 朱珠;压电陶瓷驱动器特性研究及二维微纳定位平台结构设计[D];浙江大学;2011年
3 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李雪梅;屈曲型微驱动器的设计与分析[D];西安电子科技大学;2011年
5 方小东;基于新型菱形放大机构的微位移工作台结构研究[D];大连理工大学;2011年
6 崔红微;柔性铰链式扭矩加载器的设计与研究[D];大连理工大学;2011年
7 李晓红;三轴高g值加速传感器灵敏度校准及横向效应研究[D];中北大学;2011年
8 黄勇;空间三平移超精密定位平台及控制方法研究[D];江西理工大学;2011年
9 肖亚涵;基于压电陶瓷的可调标准光隙装置设计[D];华南理工大学;2011年
10 吴志斌;用于显微操作的微小型机器人关键技术的研究[D];华南理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 梁福平;徐小力;张福学;苏中;吴国新;韩秋实;;现代仪器制造柔性研发平台构建中的传感器技术[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2009年03期
2 苏绍璟;杨俊;王跃科;张玘;;如何在人才培养方案制定中实现“科学品味”和“军事特色”的统一——仪器科学与技术学科研究生培养方案制订的思考[J];高等教育研究学报;2009年S1期
3 陈治;胡晓东;傅星;胡小唐;;基于相关拟合校准技术的MEMS平面微运动纳米精度测量[J];天津大学学报;2009年06期
4 宋乐;林玉池;郝立果;;Automatic Recognition Method for Optical Measuring Instruments Based on Machine Vision[J];Transactions of Tianjin University;2008年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 马雪红;时小军;胡仲翔;;表面微观形貌测量技术研究概述[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 马怀腾;虚拟仪器技术在燃气轮机热参数故障诊断中的应用研究[D];上海交通大学;2013年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 刘德忠,许意华,费仁元,宇惠平,王波;柔性铰链放大器的设计与加工技术[J];北京工业大学学报;2001年02期
2 郑凯,阎绍泽,温诗铸,叶青;压电叠层作动器迟滞特性模型[J];清华大学学报(自然科学版);2003年05期
3 ;双层柔性铰链微小夹持器[J];上海大学学报(自然科学版);1997年03期
4 赵美蓉,陆伯印,贾果欣;耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪[J];天津大学学报;1999年06期
5 于思远,林滨,韩雪松,刘殿通,刘文芝,刘金华;纳米级压电陶瓷微位移系统的研究[J];天津大学学报;2000年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈解胜;;分析单速定量电子皮带秤造成误差原因及控制方法[J];江苏现代计量;2008年03期
2 王贵林;段纬然;张武军;;音圈电动机驱动的快速精密定位系统设计与控制方法研究[J];现代制造工程;2007年10期
3 马淑梅,陈彬;超精密加工中的微位移技术[J];同济大学学报(自然科学版);2000年06期
4 沈希,蔡心涵,张行,滕宝善;Insitu PCR/PCR 综合系统[J];工业仪表与自动化装置;1997年04期
5 Hans Friedlich ,朱甫晓;成件物料输送设备的认址控制方法[J];起重运输机械;1979年05期
6 浦昭邦,赵辉,蔡红红,王建民;超精瞄准定位系统的研究[J];计量学报;1997年02期
7 郑静琳;李玉和;廖晓华;李庆祥;;用于二维精密定位工作台的微位移机构设计[J];仪器仪表学报;2006年S2期
8 熊光洁;张元培;都俊超;;基于MATLAB的磁流变液制动器的模糊控制建模研究[J];起重运输机械;2008年04期
9 李蓓智;杨永金;杨建国;张家梁;徐源;;精密微位移工作台的设计与性能分析[J];机械设计与研究;2008年04期
10 杨希光;;关于任意膜厚的一种控制方法[J];光学技术;1976年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
2 王书鹤;;提高粉状物料动态定量称重精度和速度的研究[A];全面建设小康社会:中国科技工作者的历史责任——中国科协2003年学术年会论文集(上)[C];2003年
3 杨俊麒;邹晖;胡毅;;延迟干涉仪原理及控制方法[A];2009年中国高校通信类院系学术研讨会论文集[C];2009年
4 杨志勇;管伊春;严利民;;一种热导式在线分析仪的温度控制方法[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
5 刘娅;李孝辉;;铷原子钟的频率控制算法[A];2005年全国时间频率学术交流会文集[C];2005年
6 裴忠才;郭飞宇;王占林;;基于神经网络的疲劳试验机控制系统仿真及实验研究[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(上)[C];2005年
7 丛大成;何景峰;韩俊伟;;地震模拟试验台数字控制系统研究[A];2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集[C];2009年
8 李长春;刘晓东;张金英;;接触网零部件疲劳试验机的数字控制算法研究[A];2005年中国固体科学与新材料学术研讨会专辑[C];2005年
9 赵岩;杨光智;;基于单片机的氧含量自动恒温测量系统[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(一)[C];2007年
10 汪春明;;锥体棱镜的加工[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 山东 高迟;工厂行车遥控器[N];电子报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 贾宏光;基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 任永平;基于板极模型方法的光电经纬仪伺服控制技术研究[D];国防科学技术大学;2005年
3 时轮;一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 荆腾;叶轮式心脏泵的仿生控制研究[D];江苏大学;2011年
6 马剑强;压电厚膜驱动的变形镜技术研究[D];中国科学技术大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马媛;基于的DSP直流伺服系统在调焦系统中的应用[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
2 王永;大负荷压电微位移技术及其在标准力源上的应用研究[D];吉林大学;2007年
3 皇甫雨亮;减速器试验台测控系统研究[D];太原理工大学;2007年
4 程常运;一种摩擦轮驱动微位移工作平台的研究[D];东华大学;2006年
5 孙健;动态高型控制方法在光电经纬仪跟踪伺服系统中的应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
6 刘振波;微位移技术研究[D];长春理工大学;2007年
7 曹荣;多自由度微定位工作台压电陶瓷控制方法研究[D];重庆大学;2004年
8 伊俊;内嵌压力源全自动便携式压力校验仪的研究[D];南京理工大学;2007年
9 刘剑;基于虚拟仿真的新型六自由度平台的实时控制[D];上海交通大学;2008年
10 张涛;基于参数自适应模糊PID控制的导热系数测定仪开发[D];天津大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026