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《福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集》2005年
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微/纳制造与微/纳测量技术综述

颜黄苹  黄元庆  
【摘要】:本文详细介绍了微/纳制造和微/纳测量技术,并综述了国内外微/纳制造和微/纳测量的研究现状。在此基础上,提出了微/纳测量的关键技术和发展趋势。
【作者单位】:厦门大学机电工程系 厦门大学机电工程系
【分类号】:TH703

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 朱若谷;补偿式光纤双法布里-珀罗微位移测量系统[J];激光技术;1994年01期
2 陈本永,朱若谷,吴昭同;双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计[J];光电工程;2001年01期
3 卓永模,杨甬英,徐敏,王元庆;双焦干涉球面微观轮廓仪[J];仪器仪表学报;1995年03期
4 齐永岳,赵美蓉,林玉池;纳米测量系统的研究现状与展望[J];仪器仪表学报;2003年S1期
5 余文新,胡小唐,邹自强;一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法[J];天津大学学报(自然科学与工程技术版);2002年01期
6 蔡萍;微纳米检测技术的研究进展[J];上海计量测试;2002年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 邓俊泳,冯勇建;聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用[J];微纳电子技术;2003年04期
2 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;MEMS微致动器的研究[J];微纳电子技术;2004年09期
3 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
4 陈兵芽;刘莹;胡敏;李小兵;李一冰;王强;;微执行器的研究与展望[J];微纳电子技术;2005年12期
5 熊建功;郑小林;赵志强;文静;;基于MEMS的高效细胞电融合系统的芯片设计[J];微纳电子技术;2006年06期
6 沙菁;侯丽雅;章维一;朱丽;;微流体系统驱动技术的研究进展[J];微纳电子技术;2006年12期
7 何光;石庚辰;;基于MEMS技术的平面W型微弹簧刚度特性研究[J];北京理工大学学报;2006年06期
8 陈本永,吴晓维,李达成;一种新型的干涉条纹软件计数方法及其实现研究[J];传感技术学报;2004年03期
9 钱开友,颜丙勇,林仰魁,王芸,徐东,蔡炳初;一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试[J];传感技术学报;2005年03期
10 廖峰,石庚辰;微机电系统材料特性检测技术[J];传感器世界;2002年12期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
2 徐从裕;余晓芬;;快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
3 陈本永;周砚江;孙政荣;吴晓维;李达成;;双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
2 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
3 田云辉;基于双纵模双频激光干涉测量的位移传感器自动检定系统的研究[D];四川大学;2003年
4 齐永岳;大范围二维纳米检测系统的设计研究[D];天津大学;2004年
5 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
6 杨练根;基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法[D];华中科技大学;2004年
7 张春良;微制造平台振动主动控制研究[D];浙江大学;2003年
8 孔祥东;电子束液态曝光技术的研究[D];山东大学;2005年
9 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
10 杨定新;微弱特征信号检测的随机共振方法与应用研究[D];国防科学技术大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 裴强;基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
2 乔大勇;基于MEMS技术的自适应光学微变形镜的设计与分析[D];西北工业大学;2003年
3 王群伟;磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究[D];浙江大学;2003年
4 温中泉;微型振动式发电机的基础理论及关键技术研究[D];重庆大学;2003年
5 陈伟;微制造平台隔振控制理论及应用研究[D];浙江大学;2003年
6 施军晓;基于AFM的电子束纳米级光刻技术研究[D];浙江工业大学;2004年
7 蒋庆华;音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究[D];西北工业大学;2004年
8 全定策;磁力轴承结构设计及其转子结构特性分析[D];武汉理工大学;2004年
9 魏玉凤;纳米六自由度微动工作台机械设计[D];合肥工业大学;2004年
10 卢凉;MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究[D];电子科技大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周建民,白素平;激光基准在机床工作台误差自动校正中的应用[J];长春光学精密机械学院学报;2001年01期
2 施洋,章海军;新型大扫描范围原子力显微镜的研究[J];光电工程;2004年06期
3 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联;微米纳米技术及微型机电系统[J];光学精密工程;1998年01期
4 高赛,殷纯永;高测速双频激光干涉仪[J];光学技术;2001年03期
5 匡萃方,冯其波,陈士谦,刘欣,冯俊艳;基于激光准直直线度测量方法的研究[J];光学技术;2003年06期
6 匡萃方,冯其波,冯俊艳,刘斌;四象限探测器用作激光准直的特性分析[J];光学技术;2004年04期
7 匡萃方,冯其波,刘斌;角锥棱镜用于激光直线度测量的特性分析[J];光学技术;2005年02期
8 张亦奕,贺节,商广义,姚骏恩;原子力显微镜[J];光学学报;1995年01期
9 黎永前,朱名铨;光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展[J];航空精密制造技术;2002年02期
10 荣烈润;面向21世纪的超精密加工技术[J];机电一体化;2003年02期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王向军,王峰;显微精密成像与微型机械尺寸检测技术[J];光学精密工程;2001年06期
2 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联;微米纳米技术及微型机电系统[J];光学精密工程;1998年01期
3 戴高良,殷纯永,谢广平;纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究[J];光学技术;1999年02期
4 张亦奕,贺节,商广义,姚骏恩;原子力显微镜[J];光学学报;1995年01期
5 黄峰,章海军;基于原子晶格为参照标度的纳米计量技术[J];光学仪器;1997年S1期
6 尤政,周兆英;发展面向21世纪的纳米技术[J];航空计测技术;1994年06期
7 陈本永,吴昭同,朱若谷;纳米测量技术研究现状与发展趋势[J];激光杂志;2000年02期
8 陈本永,朱若谷,吴昭同;激光双法布里——珀罗干涉纳米测量系统的理论分析[J];计量技术;2000年01期
9 晁志霞,许婕,徐毅;用于大范围纳米测量的法布里-珀罗干涉仪[J];计量学报;1999年04期
10 余文新,胡小唐,邹自强;光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究[J];计量学报;2002年02期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
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