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切削刀具PVD涂层技术的研究与发展

林有希  高诚辉  唐旭晟  
【摘要】:PVD涂层技术较之CVD具有显著优点,成为新型刀具涂层的主流技术之一。低温沉积最有效的磁控溅射方法,沉积速率高,工作气压低,镀膜质量高,工艺稳定,便于大规模工业生产,在切削刀具涂层应用中发展迅速。切削加工技术发展对刀具涂层硬度 耐磨性 抗氧化性 与基体结合强度等综合机械性能的要求不断提高,超硬 多元和多层等新型涂层得到开发,尤其是基于低温PVD沉积技术的纳米复合涂层正在成为研究热点,并显示出良好的发展前景。

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