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焦磷酸盐体系电沉积铜的择优取向研究

赵鹏  浦玉萍  张永强  
【摘要】:为获得可控织构的电沉积铜层,本文在焦磷酸盐、恒电流电沉积体系下制备了铜镀层,对镀层进行XRD衍射分析,探讨了电流密度、镀层厚度对镀层晶面取向指数的影响,提出了在该体系下获得(111)、(200)择优取向的优化方案。

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