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《第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)》2008年
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掺铬类金刚石膜制备工艺与机械性能关系的研究

林松盛  林凯生  朱霞高  李洪武  侯惠君  代明江  赵利  
【摘要】:采用阳极层流型矩形气体离子源结合中频磁控溅射技术制备梯度过渡Cr-DLC膜层。利用扫描电镜、显微硬度计、球-盘摩擦磨损实验仪及划痕试验仪对不同工艺制备的Cr~DLC膜层的部分机械性能进行分析对比。结果表明:Cr-DLC膜层的附着性能在CH_4/Ar流量比为100/150时为最佳,随着中频功率的增大膜层的附着性能下降;硬度随CH_4流量的增大及中频功率的提高,皆呈先上升后下降;在一定范围内CH_4流量的变化对Cr-DLC膜层的摩擦系数影响不大,中频功率的增加膜层的摩擦系数呈上升趋势。
【作者单位】:广州有色金属研究院
【分类号】:TB383.2

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 马胜歌;吴宇峰;耿漫;;中频孪生靶非平衡磁控溅射制备Ti/TiN/Ti(N,C)黑色硬质膜[J];真空与低温;2006年01期
【共引文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 任毅;Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究[D];中国地质大学(北京);2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 米彦郁,胡奈赛,何家文,陈华;对几种薄膜硬度测试方法的评定[J];中国表面工程;2002年03期
2 赵琳,邱家稳,何延春,王洁冰,许旻,赵印中;锐钛矿型二氧化钛薄膜制备及其光催化性能研究[J];真空与低温;2005年02期
3 姜燮昌;大面积反应溅射技术的最新进展及应用[J];真空;2002年03期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 林松盛;林凯生;朱霞高;李洪武;侯惠君;代明江;赵利;;掺铬类金刚石膜制备工艺与机械性能关系的研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
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