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《第六届全国表面工程学术会议论文集》2006年
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类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦学行为

张伟  张纾  田中章浩  徐滨士  
【摘要】:本文应用等离子体辅助化学气相沉积方法在单晶硅上制备了由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜。通过工艺参数调整,获得了亚层厚度从1000nm至25nm变化的DLC多层膜。应用球-盘摩擦磨损试验机分别测试了DLC多层膜在真空、氧气、干燥空气下的摩擦学行为。实验结果与单层DLC膜比较表明,在不同摩擦环境下,多层结构对摩擦因数的影响较小,但对磨损率有较大的影响。多层结构可有效抑制DLC膜的磨损。特别是在氧气、干燥空气摩擦环境下,DLC多层膜的磨损率明显低于DLC单层膜。结果显示,特定亚层厚度的DLC多层膜在不同摩擦环境下均具有稳定的抗磨性能,大约在10-8mm3/Nm。

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