收藏 |

光刻工艺中预曝光技术机理分析与应用研究

刘宏开罗崇泰王多书陈焘

【摘要】：分析了预曝光技术运用机理,研究了光刻工艺中的预曝光技术。在连续型菲涅尔衍射透镜光刻工艺中,应用了预曝光技术,制作出了较为理想的连续型浮雕结构。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献论文一键排版服务>>

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	郭紫贵;凡进军;;基于电场分析的掩膜电解加工试验研究[J];机械科学与技术;2011年06期
2	王文君;赵淑梅;;紫外光致抗蚀剂的研究现状[J];中国环境管理干部学院学报;2005年04期
3	卜云峰;郑晓虎;侯志伟;孙全平;;用SU-8胶加工微结构的试验研究[J];制造技术与机床;2008年07期
4	;微细加工技术与设备[J];中国光学与应用光学文摘;2008年03期
5	李嘉珩,马保吉,范植坚;光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究[J];电加工与模具;2004年06期
6	陈青,张殿香,杨晓辉;大型压花钢辊的光刻工艺[J];模具工业;1990年09期
7	吴广峰;胡鸿胜;朱文坚;;LIGA工艺基础及其发展趋势[J];机电工程技术;2007年12期
8	李以贵;杉山进;;用X光光刻法制备亚波长抗反射结构[J];微细加工技术;2008年01期
9	胡洋洋;朱荻;李寒松;;采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板[J];光学精密工程;2010年08期
10	马元龙;;提高紫外光直接接触复印光刻分辩率的几种工艺方法[J];山东大学学报(工学版);1981年02期
11	杜海涛;曲宁松;李寒松;钱双庆;;电解转印法加工凹坑阵列结构试验研究[J];机械工程学报;2010年03期
12	;光学工艺微细加工技术与设备[J];中国光学与应用光学文摘;2006年01期
13	郝光亮;曲宁松;李寒松;曾永彬;;UV-LIGA技术制备微细金结构试验研究[J];电加工与模具;2011年S1期
14	张国范;光电式动态光栅精密圆刻机[J];航空精密制造技术;1996年06期
15	赵劲松,李立峰,吴振华;一种控制矩形光刻胶光栅槽深和占宽比的方法[J];光学学报;2004年09期
16	李建军;;手表玻璃镀装饰膜工艺的研究[J];新技术新工艺;1990年03期
17	姚劲松，王志勤，王飞，宣明，梁静秋，王一凡;准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用[J];光学精密工程;1995年03期
18	伊福廷;李勇;刘改红;;利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极[J];电加工与模具;2011年05期
19	王兴元;刘西钊;杨云岐;;圆光栅的刻制及应用[J];精密制造与自动化;1980年03期
20	周振君,关长斌;精磨用电镀柔性金刚石磨具的研究[J];精密制造与自动化;1994年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘宏开;罗崇泰;王多书;陈焘;;光刻工艺中预曝光技术机理分析与应用研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
2	刘宏开;罗崇泰;王多书;陈焘;;光刻工艺中预曝光技术机理分析与应用研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
3	伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
4	伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
5	周礼书;杨李茗;杨春林;;湿法化学刻蚀技术[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
6	席仕伟;张德;丁元萍;李福军;武蕊;李玉萍;;铜薄膜表面防护[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
7	江一;汪炜;刘正埙;何铁军;彭昀;;激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
8	彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
9	王多书;罗崇泰;刘宏开;叶自煜;;预曝光对于连续浮雕微结构制作的影响[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
10	曲宁松;钱双庆;朱荻;;电解转印加工平面摩擦副表面微小凹坑阵列的研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前6条

1	李晓光;紫外光刻仿真及掩模优化设计研究[D];中国科学技术大学;2007年
2	郭育华;LIGA技术制作高性能微电子机械模具及其脱模性能的研究[D];中国科学技术大学;2007年
3	蒋利民;约束刻蚀剂层技术（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究[D];厦门大学;2007年
4	彭平;基于AFM的微纳尺度模板加工技术研究[D];华中科技大学;2010年
5	张山;影响直角坐标激光直写曝光质量的若干关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6	钱双庆;表面织构电解加工技术的基础研究与应用[D];南京航空航天大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李志伟;（100）、（110）硅片湿法各向异性腐蚀特性研究[D];武汉理工大学;2008年
2	蒋玉荣;硅基MEMS三维结构湿法腐蚀技术研究[D];武汉理工大学;2007年
3	许龙芳;聚合物微流控芯片压印成型模具关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
4	纪强;结合光刻和反应性相分离技术制备微纳米图形的研究[D];上海交通大学;2008年
5	贺德建;纳米压印光刻技术原理与实验研究[D];华中科技大学;2004年
6	杨长勇;化学铸（镀）制备Ni-P合金微构件的研究[D];东南大学;2005年
7	刘楠;UV-LIGA工艺中若干关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8	马龙;基于准分子激光大深宽比微结构加工工艺研究[D];华中科技大学;2006年
9	喻立川;微三维可动机构的制作研究[D];大连理工大学;2008年
10	邱勇;表面微小阵列凹坑微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前1条

1	邓军;光化学蚀刻技术取得突破[N];中国矿业报;2002年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南