二元系纳米多层薄膜界面稳定性的理论分析

【摘要】：采用Martin动力学离散模型计算了一维情况下理想二元系纳米多层薄膜的浓度-深度分布,研究了扩散非对称性系数m’对多层薄膜界面稳定性的影响。计算结果表明:随着扩散非对称性系数m’逐渐减小,多层薄膜发生了互扩散,界面的浓度梯度逐渐减小,但是多层薄膜界面在扩散过程中逐渐由宽化变为平直。m’=0时,初始平直的界面随退火时间逐渐宽化。m’=-6时,初始平直的界面在扩散过程中保持平直,仅有一个原子层的宽度,并逐渐向一侧移动。m’=-2.5时多层薄膜界面的变化介于两者之间。界面由宽化向平直转变是由A、B两组元间相互作用力不同导致各自的扩散系数存在差异从而造成界面上两组元的扩散通量不同引起的。