收藏本站
《2010全国玻璃技术交流研讨会论文集》2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

激光刻蚀ITO薄膜工艺研究

陈记寿  徐爱忠  刘丹  
【摘要】:鉴于铟锡氧化物(indium-tin oxide,ITO)薄膜电加温玻璃在外观、力学、光学性能的特殊要求,激光刻蚀技术能否成功应用于该领域成为探讨的问题。本文通过激光器在不同工作功率和刻蚀速度下刻蚀ITO薄膜所达到的刻蚀效果开展研究,探索激光刻蚀工艺,并通过测试比对刻蚀前后玻璃的力学、光学特性变化,分析激光刻蚀对玻璃的影响。实验结果表明:选用ITO薄膜厚度650nm镀膜玻璃做为实验样件,选用波长1064纳米的激光器做为实验设备,当激光器工作功率为750mW,刻蚀速度为500mm/s时,薄膜被完全刻蚀,且衬底玻璃未受到损伤;经检测,刻蚀后玻璃的抗弯曲强度仅衰减7%,抗冲击强度和透光度均无变化。因此激光刻蚀技术可实际应用于电加温玻璃的薄膜刻蚀。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 马勇,孔春阳;ITO薄膜的光学和电学性质及其应用[J];重庆大学学报(自然科学版);2002年08期
2 管自生,张强;激光刻蚀硅表面的形貌及其对浸润性的影响[J];化学学报;2005年10期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王承遇,陶瑛,王波;玻璃表面的透明半导体薄膜[J];玻璃与搪瓷;1999年04期
2 周宏明;易丹青;杨小玲;;ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J];表面技术;2006年01期
3 邓赞红;董伟伟;陶汝华;苏清磊;方晓东;;p型铜铁矿结构氧化物材料研究进展[J];材料导报;2006年03期
4 李芝华;任冬燕;;溶胶凝胶法制备ITO透明导电薄膜的工艺研究[J];材料科学与工艺;2006年02期
5 职利,周怀营;ITO薄膜的制备方法与应用[J];桂林电子工业学院学报;2004年06期
6 王承遇,王波,陶瑛,刘洪珠,马腾才;用微波电子自旋共振等离子源离子注入增强溅射沉积法在玻璃表面制备氧化铟膜[J];硅酸盐通报;2000年02期
7 刘静,李秀荣,李长珍;基材温度对铟锡氧化物膜结构与电性能的影响[J];硅酸盐学报;2000年03期
8 徐伟玲;李延升;;液相共沉淀法制备氧化铟锡超细粉体材料的研究进展[J];应用化工;2005年07期
9 周静,刘静;X射线分析温度对ITO膜结构与电性能的影响[J];武汉理工大学学报;2001年09期
10 袭著有,许启明,赵鹏,田晓珍;ITO薄膜特性及发展方向[J];西安建筑科技大学学报(自然科学版);2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 何志远;张治国;;ITO薄膜电导率与温度关系的测量[A];福建省第五届实验物理教学研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 李晓平;WDM薄膜滤光片和分束器的设计与制造研究[D];华中科技大学;2005年
2 钱柏太;金属基体上超疏水表面的制备研究[D];大连理工大学;2006年
3 蔡琪;新型Ag-ITO复合薄膜的制备、微结构及光电性质表征[D];安徽大学;2007年
4 朱协彬;软化学法制备纳米ITO材料及其介孔组装体系研究[D];中南大学;2007年
5 尚广瑞;铜—锌合金及不锈钢仿生耦合表面润湿性能研究[D];吉林大学;2007年
6 张歆东;基于聚合物液晶材料的可变光衰减器的研究[D];吉林大学;2007年
7 宋宁;超声—微波化学共沉淀法制备ITO和CIO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李林娜;ITO透明导电膜的性能研究及其在nip结构硅基薄膜太阳电池上的应用[D];河北工业大学;2007年
2 李颖;溶胶—凝胶法制备ITO薄膜及其微细图形的研究[D];西安理工大学;2005年
3 孙晓霞;纳米ITO粉体的制备及其分散性研究[D];武汉理工大学;2005年
4 陈建林;FED平板显示器件封接及除气工艺的研究[D];福州大学;2003年
5 付金栋;纳米氧化铟锡制备透明隔热涂料的研究[D];南京工业大学;2003年
6 陈飞霞;纳米氧化铟锡透明隔热涂料的制备及性能研究[D];南京工业大学;2004年
7 张有润;制备ITO薄膜的工艺研究[D];电子科技大学;2005年
8 戴浩;ITO纳米材料的制备及性能表征[D];昆明理工大学;2006年
9 邓建芳;低温ITO膜的制备及性能研究[D];电子科技大学;2006年
10 李松杰;纳米二氧化锡粉体的制备研究[D];郑州大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 陈猛,白雪冬,裴志亮,孙超,宫骏,黄荣芳,闻立时;In_2O_3:Sn(ITO)薄膜的光学特性研究[J];金属学报;1999年09期
2 杨志伟,韩圣浩,杨田林,叶丽娜,马洪磊,韩锡贵;柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究[J];太阳能学报;2001年03期
3 姜燮昌,胡勇;ITO膜透明导电玻璃的应用前景及工业化生产[J];真空;1995年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李琛;周明;沈坚;;水热法制备不同形貌的氧化锌纳米结构[J];功能材料;2011年07期
2 董科研;周明;王静静;吴小麟;高传玉;;ITO薄膜的制备以及性能的研究[J];功能材料;2011年S2期
3 甘代伟;;刚性模具微纳米热压印技术研究[J];广西轻工业;2011年08期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈记寿;徐爱忠;刘丹;;激光刻蚀ITO薄膜工艺研究[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
2 赵旭东;肖荣诗;;激光刻蚀条纹对镀锌钢表面浸润性的影响[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 杨军;彭虎;夏广斌;;微波烧结高密度ITO靶材[A];“第十四届全国微波能应用学术会议”暨“2009年微波创造美的生活高峰论坛”论文集[C];2009年
4 牛丽;李金祥;尚鲜连;陈珂;;高等职业院校ITO人才培养方案分析及学习情境设计[A];2011高等职业教育电子信息类专业学术暨教学研讨会论文集[C];2011年
5 ;ITO靶体与背靶焊接技术研究[A];广东省材料研究学会部分单位会员成果汇编[C];2005年
6 马晓波;钟景明;孙本双;陈焕铭;王东新;;高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
7 冯波;梅林;程正学;张蓉;夏之宁;;激光刻蚀成模快速制作PDMS微流控芯片[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
8 秦川丽;赵淑芳;白续铎;;脉冲激光刻蚀聚苯乙烯的蓝光发射[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
9 吴星明;杨树威;徐春叶;;磷酸噻吩用于高分子电致变色器件中ITO的表面修饰[A];中国化学会第28届学术年会第11分会场摘要集[C];2012年
10 邢朋飞;邢伟;王政红;张秀勤;薛建强;;ITO靶材的微观结构分析[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 顾洪文;Itopsoft:“韩流”的中国路[N];计算机世界;2002年
2 ;控制成本是ITO企业发展关键[N];中国电子报;2009年
3 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
4 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
5 长沙壹纳光电材料有限公司技术总监 陈明飞;ITO靶材企业应埋头向下精细创新[N];中国电子报;2011年
6 记者 种筱娜;兴业太阳能ITO薄膜产品投产[N];珠海特区报;2011年
7 ;本土ITO企业要走差异化路线[N];中国电子报;2009年
8 大连交通大学光电材料与器件研究所所长 柴卫平;打破技术壁垒 加快ITO靶材产业化进程[N];中国电子报;2009年
9 长沙壹纳光电材料有限责任公司技术总监 陈明飞;优化国家和企业资源配置 促进ITO靶材发展[N];中国电子报;2009年
10 闻丹岩;网络中的韩流[N];中国计算机报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵辉;基于ITO微孔电极的SH-SY5Y细胞行为电化学分析研究[D];华东师范大学;2012年
2 李皓;心衰机理及hKv4.3基因表达调控研究[D];吉林大学;2006年
3 陈曙光;铟锡氧化物(ITO)粉体及高性能ITO靶材的制备与研究[D];华中科技大学;2005年
4 吴大刚;基于信息流控制的信息技术外包产业发展模式与战略研究[D];吉林大学;2007年
5 朱协彬;软化学法制备纳米ITO材料及其介孔组装体系研究[D];中南大学;2007年
6 朱筠清;SnO_2、SnS_2、ITO微纳结构设计合成与发光性能研究[D];合肥工业大学;2012年
7 徐慢;玻璃基太阳能电池薄膜材料制备及其结构和性能研究[D];武汉理工大学;2006年
8 张越举;爆炸压实烧结纳米陶瓷粉末研究[D];大连理工大学;2007年
9 任崇余;心脏神经重塑对心肌细胞瞬时外向钾电流的影响及其分子机制[D];中国协和医科大学;2006年
10 王晓俊;蛾翅膀表面疏水性能研究及仿生材料的制备[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘思远;ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现[D];苏州大学;2010年
2 赵海娇;直流磁控溅射制备ITO薄膜及增透效果的研究[D];长春理工大学;2011年
3 袁振;微波烧结ITO靶材研究[D];中南大学;2011年
4 王磊;ITO薄膜晶体管的制备及其性能研究[D];湖南大学;2011年
5 张磊;纳米ITO颗粒在乙酸丁酯相中分散稳定性研究[D];西安建筑科技大学;2011年
6 毛延凯;低压双电荷层ITO薄膜晶体管[D];湖南大学;2011年
7 赵景训;ITO薄膜的制备及其性能研究[D];大连交通大学;2010年
8 葛亚爽;ITO薄膜的制备及优化设计[D];郑州大学;2011年
9 门智新;磁控溅射法低温制备ITO透明导电薄膜工艺研究[D];中南民族大学;2011年
10 朱洋;基于复合膜修饰ITO电极的乙醇传感器的研究[D];重庆医科大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026